集束イオンビーム装置 分析事例2

リフトアウト法を用いたTEM試料作製

特徴

・通常の手法と比べ短時間(約1/2)で試料作製が可能
・近接する個所でも試料作製可能
・試料の前処理に水を使わない(ダイシングソー、機械研磨不要)

リフトアウト法を用いた試料作成の概要

FIBでTEM観察個所を薄片化した後
ガラスプローブで静電吸着して取り出す

マイクロマニュピレーター外観図
薄片化試料をガラスプローブで
取り出したところ
tem4
薄片化試料を支持膜付きのメッシュ
グリッドに固定する