集束イオンビーム装置

FIB (Forcused Ion Beam)
断面作製、TEM試料作製および各種表面分析の前処理加工等の微小領域の加工を行い、解析精度及びスループットの向上に威力を発揮します。

写真

SMI-2200

特徴


  • ねらった場所を早く確実に加工
  • 機械的ダメージのない加工
  • SIM像の観察
  • 集積回路の修正(配線の切断・接続)
  • アイデア次第で種々の用途に適用可能

所有装置


SMI-2200(セイコー社製)
装置概要


  • イオン種: Ga液体金属
  • デポジション: C(カーボン)、W(タングステン)
  • 試料: 8インチウェハーまで対応

事例


 

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