Vol.002 応力測定のご紹介 ~顕微ラマン装置のマニアックな使い方~

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              週間分析馬鹿(re)   Vol.002

 分析一筋十三年。分析ヲタクがお送りする、業務中の分析あるあるや面白い装置の紹介等
 描くコーナーです。気軽にしかし、妙なところで役に立つ内容をお送りします。
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       応力測定のご紹介 ~顕微ラマン装置のマニアックな使い方~

こんにちは、分析ヲタクです。

今回は前回もご紹介した顕微ラマン分光装置のマニアックな使い方についてご説明したいと思います。
まず装置は前回同様コレです。



日本分光社製 NRS-5500
搭載LASER 532nm 633nm

顕微ラマン分光装置は、産業界ですと微小な異物等の分析で活躍しているのが主だと思います。
有機多層膜の表面近傍に対してXY軸0.5μmピッチでマッピングした像をご紹介します。
表面層内にあるビーズと周辺樹脂が組成差ではっきりと見分けられることが分かります。
ビーズ由来のピークの強弱があるのはビーズの位置がZ軸方向に近いモノや遠いモノがあることを
示しています。この辺がキッチリ出てくるのはこの装置の共焦点性が良いことを示しています。
マニアにはたまらない高機能ですね。





もう1つのご紹介したい機能は残存応力の可視化です。
ここでは分かりやすい例でSiウェハーに対して硬度計で押し込んだ後を見てみたいと思います。
社内のアネゴにお願いしてSiウェハーをピンポイントで押してもらいました。
このあと顕微ラマンで分析・解析してみると、、、
見事に、残存応力が可視化されています。



赤系が圧縮されているところで青系が引き伸ばされいるイメージです。
押した真ん中はやはり大きな圧縮応力が掛かっていますね。

導入されたばかりの装置なので、まだまだ模索段階ではありますが、
無限の可能性を感じる装置です。
有機物の残存応力等も可視化できたら面白いなーと思う今日この頃です。
(たぶんかなり難しいチャレンジになると思いますが)

以上、分析ヲタクでした。また来週~。