微小異物分析

製品のダウンサイジングに伴い、微小な異物が引き起す不良や故障が問題となってきています。 この異物の付着や混入を防ぐためには、異物を同定解析/分析し、発生源を特定しその発生を押さえることが必要です。
マイクロサンプリング技術とFT-IR分析/EDX分析を組み合せて、この微小異物の同定解析/分析を行います。(異物分析)

・20μm程度の有機系異物の同定解析/分析が可能

有機系の異物で20μm程度以上の大きさがあれば、
マイクロサンプリングとFT-IR分析により異物を同定解析/分析できます。

・数μmの大きさの有機系異物でも数があれば同定解析/分析が可能

数μm程度の大きさの有機系異物でも数個あれば、集めてFT-IR分析で同定解析/分析できます。

・特殊サンプリングにより金属膜下や層中の異物の分析が可能

特殊サンプリングにより、従来の方法では出来なかった内部に存在する異物の分析も可能となります。

・無機系異物であれば1μm程度の大きさでも元素分析が可能

無機系異物であれば、1μm程度の大きさでも含まれる元素をEDXで分析できます。

分析事例:付着異物分析(有機フィルム上の異物)

試料:ポリエチレンフィルム上の異物

①マイクロサンプリングとFT-IR分析(光学顕微鏡観察とFT-IR分析)


・脂肪酸アミドと珪酸塩が検出され、両者とも滑剤の成分と推測された。

 

②EDX分析(SEM観察とEDX分析)


・Na/Al/Si/Caが検出され、滑剤中の珪酸塩に含まれる元素と推測された。

これらの分析結果から、この異物は滑剤の残留物とわかった。

 

③特殊サンプリングによる異物の分析

 

微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物は、いち早く分析することが要求されます。 アイテスは各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。 多層膜中異物の特殊サンプリング技術 さらに強化されたマイクロサンプリングツール 新規導入されたマイクロサンプリングツールは、顕微鏡下でマニュピュレータを用い、正確に狙った異物を捕らえます。 5μmに...

イメージング FT-IRによる微小異物分析

特定波長の赤外線吸収スペクトルに対応した、分布イメージが取得できます。また、従来のFT-IR装置と比べ半分以下の微小異物まで分析可能となります。

微小異物のGCMS分析

アイテスでは微小異物(有機物)の分析方法をご提案します。