微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物は、いち早く分析することが要求されます。
アイテスは各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。

多層膜中異物の特殊サンプリング技術

さらに強化されたマイクロサンプリングツール

新規導入されたマイクロサンプリングツールは、顕微鏡下でマニュピュレータを用い、正確に狙った異物を捕らえます。

5μmに満たない微小異物でも多数集めてFT-IRにて測定することが可能です。