TOF-SIMSによる液晶パネル中の異物分析

TOF-SIMSによる最表面微量汚染分析

特徴

・最表面に付着した無機・有機汚染の物質の同定が可能
・PPMレベルの高感度分析が可能
・最小5μm領域の点分析から5cm角までの広領域面分析が可能

装置/ION TOF TOF-SIMS IV

・分析イオン     Ga, Ar
・スパッターイオン  Cs, Ar
・検出方法
・飛行時間型質量分析
・リフレクター型
・分析領域
・最小分析領域:約5μm
・分析深さ:1~2nm

適用例:液晶ディスプレイ中異物の分析

光学顕微鏡像

・分析例       液晶ディスプレイ内に見つかった異物の分析
・測定結果     有機系のフラグメント以外に、ナトリウム、カリウム、カルシウムが検出された。
人体に由来する異物の可能性が推測される。

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