| 1993年 | 1月 | 日本IBM野洲事業所の品質保証部門を母体に会社設立 |
| 1996年 | 4月 | 大手液晶メーカーTFT液晶パネル3期ラインの垂直立上に不良解析サービスで貢献 |
| 1999年 | 1月 | 半導体評価用ウエハの販売開始 |
| 10月 | ISO9001を取得 | |
| 12月 | 透過型電子顕微鏡のFEI製TecnaiF20を導入 | |
| 2000年 | 2月 | 飛行時間型二次イオン質量分析器のION-TOF製TOF-SIMSを導入 |
| 12月 | 集束イオンビーム装置のセイコー製SMI-2200を導入 | |
| 2004年 | 7月 | 液槽式冷熱衝撃試験装置を導入。 |
| 8月 | CrossBeam FIBのZEISS製1540XBを導入 | |
| 2005年 | 6月 | テクニカルサポートセンターを新設 |
| 2006年 | 5月 | 自己資本充実のため資本金を2,000万円から1億円に増額 |
| 2007年 | 12月 | 極低加速電圧走査型電子顕微鏡のZEISS製 ULTRA55を導入 |
| 2008年 | 8月 | セミオート有機EL故障解析装置EX03を開発。大手有機ELディスプレイメーカーへ出荷 |
| 9月 | 多機能試験装置を導入（温度サイクル試験（JEDEC）/高温250℃対応温度サイクル試験対応） | |
| 11月 | 太陽電池故障解析装置PVXの市場リリース。太陽電池業界へ参入 | |
| 2009年 | 5月 | 有機物分析のための最新型イメージングFT-IR分析装置を導入 |
| 9月 | 温度勾配のついた温度サイクル試験のできる多機能試験機を業界に先駆けて導入 | |
| 2011年 | 3月 | 半導体故障解析に用いる最新型 発光解析装置(Phemos-1000)を導入 |
| 2012年 | 4月 | 投影型静電容量タッチパネルの検査装置「TX02」が第２４回中小企業優秀新技術・新製品賞(りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞社共催)の「優秀賞」を受賞 |
| 7月 | 屋外ソーラーパネル検査装置「ソラメンテSX」を発売 次世代育成支援対策推進法認定 くるみんマークを取得 ソラメンテSXが、滋賀エコ・エコノミープロジェクト（滋賀県・滋賀経済団体共同）低炭素化事業部門、第３回しが低炭素リーダー賞を受賞 | |
| 2013年 | 2月 | ソラメンテSXの開発が、滋賀銀行ニュービジネス奨励金しがぎん野の花賞を受賞 |
| 3月 | ＬＥＤ光学特性評価サービスを開始（赤外域、紫外域） | |
| 7月 | 新製品 ソーラーパネルチェッカー（ソラメンテｉS）発売開始 | |
| 10月 | ＥＬ画像検査装置オプション（PVXシリーズ） ＰＬイメージングユニット ＰＯＰＬＩを発売開始 | |
| 2014年 | 2月 | 新製品 ストリングチェッカー（ソラメンテＺ）発売開始 |
| 3月 | 超音波顕微鏡(Sonoscan社製 D9600）による観察サービスを開始 | |
| 2015年 | 7月 | 超薄切片作製装置 ウルトラミクロトームを導入し、高分子材料などに対するSTEM観察サービスを開始 |
| 2016年 | 4月 | 屋外ソーラーパネル点検・検査装置（ソラメンテシリーズ）が第２８回中小企業優秀新技術・新製品賞(りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞社共催)の「優秀賞」を受賞 |
| 12月 | 屋外ソーラーパネル点検・検査装置（ソラメンテシリーズ）の出荷台数が、累計1070台(iS:550台、Z:520台)を突破 | |
| 2017年 | 3月 | 電子線後方散乱回折EBSD解析サービスを開始 |
