銅ワイヤボンディングのX線透過観察

近年、ワイヤボンドパッケージで金から銅ワイヤへの移行が進んでいます。
通常では透過してしまう銅ワイヤを、鮮明に観察できるボンディングのX線透過観察事例をご紹介します。

マイクロフォーカスX線透過装置の概要

仕様

  • 分解能    :2μm
  • 最高倍率   :1800倍
  • ステージ寸法 :300×250mm (2kgまで)

特徴

  • 試料のX,Y,Z,移動、回転、傾けが可能な5軸マニュプレータを搭載しています。

X線透過観察の事例

LQFP 120ピン(a)
《観察試料》 LQFP 120ピン(X線観察用試作サンプル)
サイズ: 16×16×t0.5(mm) 、 ピンピッチ 0.5mm
銅ワイヤー:Pd被膜銅ワイヤー(φ20um)
1stボンディング上から観察 (b) 1stボンディング
上から観察
1stボンディング斜めから観察(c) 1stボンディング
斜めから観察
 2ndボンディング斜めから観察 (d) 2ndボンディング
斜めから観察
銅ワイヤー(e) 銅ワイヤー