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EX有機EL検査装置

通常発光では見えない有機ELパネルの潜在欠陥(電流リーク箇所)を光学的手法を用いた微弱発光測定法により検出し、その位置を自動特定する検査装置EXシリーズです。
有機ELの寿命や故障の原因となる電流リーク箇所をすばやく検出、位置特定が行えます。
研究開発、生産プロセス検証、品質管理などに必要な故障解析のスピードアップにお役立てください

 基本機能

  • 微弱発光を捕らえる高感度冷却CCDカメラ
  • 画像処理(自動位置特定/画像合成)・測定データ管理ソフト
  • PCにて表面像・通常発光像・リーク発光像撮影/I-V特性測定操作をリモート制御
 
 
基本機能を重視し低価格を実現したリーク測定装置マクロ測定から欠陥箇所の絞込み特定箇所のマーキングまでを行うハイパフォーマンス装置

EX02αはこちら

EX03はこちら

微弱発光測定法を用いた有機EL検査装置EXシリーズの基本機能はそのままに、
徹底したコストダウンをはかったコストパフォーマンスの高いエントリーモデルの登場です。

EX02αの特徴

  • マクロレンズにより150mm×150mmの一括撮影、分割により最大300mm×300mmのパネル撮影が可能。
  • リーク発光像を撮影、電流リーク箇所を自動特定し、場所をIDできる。
  • 通常発光像や表面像と、リーク発光像との合成像表示、測定データの保存などの
    データ処理が可能。
  • PCから印加電源、カメラを制御でき、所定の条件で容易に有機ELの表面像、通常発光画像、
    リーク発光像の撮影が可能。
  • PCからの印加電源をリモート制御し、有機ELのI-V特性測定が可能。
 

 測定事例

通常発光像の確認 微弱発光測定による 潜在欠陥の検出 通常発光像とリーク発光像との 画像合成による位置特定
通常の駆動状態では 異常は見られない。 微弱発光測定により、 リーク発光箇所を検出。 潜在的な不良箇所が 発見された。 電流リーク箇所の位置を、 画像合成により特定し、 プロセス改善等に フィードバック。

 ■ 装置仕様

  • 対象有機ELパネルサイズ 300mm×300mm
  • 視野 最大:150mm×150mm(最大視野時)
  • 駆動機構 Z軸(手動制御、ストローク:300mm)
  • カメラ撮像素子:冷却CCDカメラ有効画素数:100万画素
  • レンズ:マクロレンズ
  • 撮影分解能:約30μm (最近接リアコンバーター使用時)
  • 出力画像フォーマット:Tiff(16bit)、BMP
  • DC出力:(ソースメーター 1ch)0V ~±32V→±2A±32V~±64V→±1A±64V~±110V→±0.5A

 ■ 基本構成

微弱発光測定法を用い、有機ELの寿命や故障の原因となる 電流リーク箇所を検出、低倍率から高倍率までの自動絞込み操作と 自動位置特定を行い、特定箇所をレーザーでマーキング。 EX03の特徴
  • マクロレンズと自動ステージ制御の組み合わせにより、 20inchまでのパネル検査に対応
  • マクロレンズから高倍率レンズまでの自動絞込み操作
  • リーク発光像を撮影、電流リーク箇所を自動位置特定し、 場所をIDできる。
  • 同軸に設けられたレーザー装置により特定箇所をマーキング
  • 通常発光像や表面像と、リーク発光像との合成像表示、 測定データの保存などのデータ処理が可能。
  • PCから印加電源、カメラを制御でき、所定の条件で 容易に有機ELの表面像、通常発光画像、リーク発光像の撮影が可能。
  • PCからの印加電源をリモート制御し、有機ELのI-V特性測定が可能。

 EX03 測定事例

 EX03 装置仕様

  • 対象有機ELパネルサイズ ~20inch
  • 視野 最大:150mm×150mm(マクロレンズ使用時) 最小:0.2mm×0.2mm(高倍率レンズ使用時)
  • 駆動機構 XYZ軸+フォーカス調整軸(PCによる自動制御、ストローク:20inch対応)
  • カメラ(2台)撮像素子:冷却CCDカメラ有効画素数:100万画素
  • レンズ:マクロレンズ、高倍率レンズ
  • 撮影分解能:約1μm (高倍率レンズ使用時)
  • 出力画像フォーマット:Tiff(16bit)、BMP
  • DC出力:(ソースメーター 2ch)0V ~±12V→±2A±12V~±40V→±0.62A±40V~±220V→±0.11A
  • レーザー装置532nmYAGレーザー※素子の構造、使用している材料によって加工できない場合があり、検証が必要です。他レーザーでの検討も可能です。
  • レーザーマーキング約5μm
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