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EL/PLイメージング装置 PVX1000+POPLI-Octa

PVX1000+POPLI-Octaは、セル製造工程中のWaferをフォトルミネセンスで評価できます。熱拡散後のPN接合層や、AR層成膜のパッシベーション効果や表面汚染、更には裏面絶縁層の保護効果、Local-BSFの評価などが可能です。

また、直流電源を用いたモジュールのEL観測により欠陥箇所の位置特定が可能です。モジュールに逆バイアスを印加しLEAK点を観測することによりPID発症している欠陥箇所を簡便に特定します。

製品特長

1.シリコンウェハ(6インチ角以下)

2.超高感度冷却CCDカメラ(100万画素、-70℃)

3.面光源により一括イメージング測定が可能

4.高機能画像演算ソフト搭載

5.卓上型で省スペース

主な仕様

PVX1000 PL撮影用高感度冷却CCDカメラ
解像度         1024 × 1024 画素
階調             16bit
PC             PC Windows 7 Professional 64bit
ユーティリティ      電源 単相100V 50/60Hz

 

 POPLI-Octa 高均一性PL励起用LED光源
有効エリア        160mm × 160mm
発光波長               830nm(中心)
放射照度            40W/㎡以上(有効照射エリア内)
安全機構         インターロック機構

PL画像 単結晶(Al-BSF)セル工程

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