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顕微EL/PLイメージング装置 PVX1000+POPLI-μ

PVX1000+POPLI-μは、セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。PERCであれば、PL強度で個々のLocal-BSFの評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージが評価可能です。

また、直流電源を用いたモジュールのEL観測により欠陥箇所の位置特定が可能です。

製品特長

1.シリコンウェハ(6インチ角以下)

2.超高感度冷却CCDカメラ(100万画素、-70℃)

3.平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能

4.高機能画像演算ソフト搭載

5.専用の高遮蔽暗箱一体型

主な仕様

PVX1000 PL撮影用高感度冷却CCDカメラ
解像度         1024 × 1024 画素
階調             16bit
PC             PC Windows 7 Professional 64bit
ユーティリティ      電源 単相100V 50/60Hz

 

 POPLI-μ PL励起用平面レーザー光源
発光波長           830nm(中心)
出力             最大約14W(暫定)
調光階調        1024階調(ライトガイドにて測定視野へ導光) 
安全機構      インターロック機構

PERCセルの評価

試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所

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