波長分散型X線分光法(EPMA)による電子部品の元素分析

波長分散型X線分光器 WDS はエネルギー分散型X線分光法 EDSでは分離できない
スペクトル上の近接元素を分離することができ、定量精度も向上します。

 

WDSとEDS検出方法の比較

波長分散型X線分光器 エネルギー分散型X線分光器

エネルギー分散型X線分光器(EDS)は、入射X線によって半導体中で発生する電子と正孔対の個数よりX線のエネルギーを計算します。
一方、波長分散型X線分光器(WDS)はX線の回折現象を利用し、特定波長X線のみを計数します。
一般に、WDSの方が波長分解能、検出感度共に優れています。

 

WDSの応用(スペクトル上の近接元素 Mo, S, Clの分離)

モリブデン配線上のイオウ、塩素を含む異物の
(a)WDS定性分析と(b)EDS定性分析、(c)WDS面分析、(d)EDS面分析の結果:
WDSではモリブデン-イオウ、モリブデン-塩素の分離が可能であることがわかる。