冷却断面イオンミリングによる観察

鉛入りはんだの場合、冷却せずに加工すると、イオンビームの影響で空隙ができます。 冷却しながら加工することで、イオンビームの影響が軽減され、空隙なく加工できます。 熱に弱い材料の断面観察ができます。

観察例:Sn-Pbはんだの断面観察