IGZO TFTの電気特性測定及び断面TEM構造解析

液晶画面のアレイに使用されている IGZO TFTの電気特性の測定から、断面TEM観察
及びEDS元素分析による構造解析を、一貫して行っておりますので御紹介致します。

解体及びTFT電気特性の測定

IGZOスマートフォン外観
IGZOスマートフォン外観
解体、ディスプレイ取り出し
解体、ディスプレイ取り出し
ディスプレイ開封、液晶除去
ディスプレイ開封、液晶除去

IGZO TFT 表面光学像及び断面TEM観察箇所

IGZO TFT 電気特性測定結果

IGZO TFT 断面TEM観察及びEDS分析

IGZO TFT 断面TEM観察結果チャネル部のEDSスペクトル

作製した断面からEDSによる元素分析及び元素マップ等が行える。