形状測定レーザー顕微鏡(VK-200)

408nmレーザーを用いて観察、計測を行います。測定結果は国家基準につながるトレーザビリティ体系に基づいており、測定機器として非破壊測定に活用できます。

高精度3D測定&カラー観察例

LEDのW/Bパッドの観察(a) LEDのW/Bパッドの観察

(左図)良品、(右図)不良部

良品と比べて、不良部はパッド部の穴が深く、全体のうねりもある事がわかります。

表面観察分解能:
xy方向分解能:130nm/z方向分解能:0.5nm

透明レジスト表面の観察(b) 透明レジスト表面の形状観察

(c) 同上の断面形状表示

成型樹脂とその上のクリアコート(d) 成型樹脂とその上のクリアコートの同時観察

(e) 同上の断面形状表示(膜厚測定は2μm以上が対象、0.1μmピッチでの測定となります)

応用例の一部

 機能 詳細説明 観察対象  評価パラメータ
 外観・光沢 光の反射、散乱、ぎらつき、

高級感、鮮映性

メッキ面、鏡面、鋼板 Rq、Ra、Rku
 肌ざわり  手触り シート、梨地面、

シボ面評価

Rz、Rq、R⊿q、Rpc
 密着性・接着性 パッケージ、接着剤にとっての

最適形状表面

プリント基板、接着面、

メッキ下地

Rzjis、Rz、R⊿q、Rir
印刷品位  紙のキメとインクの乗り 印刷用紙  Ra、Rv、Rvk、Rpc