マイクロプローバー、マニピュレータによる 電気的特性の測定

微細配線、極小パッドへの高精度なプローブが必要となる液晶ディスプレイのTFT測定や半導体デバイスの電気的特性測定が可能です。

マイクロプローバー外観

マイクロプローバー1 マイクロプローバー2

測定器各種(半導体パラメータアナライザー、カーブトレーサー)

半導体パラメータアナライザー写真 半導体パラメータアナライザー写真 カーブトレーサー写真

素子特性測定例

マイクロPADの加工例

マイクロPADを用いたNMOS Vth測定結果