TEMによる電子部品・材料の解析

TEM(透過型電子顕微鏡)は電子部品の故障部位観察、長さ測定、元素分析、結晶構造の解析等や材料評価の幅広い要求にお応えします。

特定部位のTEM観察(故障解析への応用)

(a)
(b)

(a)エミッション発光にて特定した故障部位は、(b)FIBにより薄片化しながら観察します。

電子の透過力の大きい加速電圧400kVのTEMにて故障部位を試料厚内に閉じ込めた状態での透過観察とFIB加工を繰返し、 最適な像(c), (d)を得ることができます。
また、TEM像倍率を予め校正しておき、2% 以下の誤差で測長することもできます。

(c)
(d)

 

元素分析、電子線回折

TEMは高倍率観察のみならず、EDS、EELSによる元素分析、あるいは電子線回折による結晶構造、面方位、格子定数等の解析を行う事ができます。

TEMのブロック図
TEMのブロック図
SiO2のEDSスペクトル
SiO2のEDSスペクトル
TiNのEELSスペクトル
TiNのEELSスペクトル
Siの電子線回折像 電子線入射方向(112)