TEMによる結晶材料の解析

TEM(透過型電子顕微鏡)は高分解能での結晶粒観察、電子線回折による結晶構造の解析など、結晶材料解析に最適な手法です。

結晶材料の高分解能観察

(a) Si/SiO2/poly-Si界面部分の拡大像

(a) Si/SiO2/poly-Si界面部分の拡大像

(b) Poly-Siの結晶粒 アニール前

(b) Poly-Siの結晶粒 アニール前

(c) Poly-Siの結晶粒 アニール後

(c) Poly-Siの結晶粒 アニール後

電子線回折

(d)AIの電子線回折像
(e)Siの電子線回折像

電子線回折はX線回折と相補的に用いられ、X線回折では解析できない、微小領域の結晶の種類、格子定数、面方位、配向性を確認することができ、結晶材料の評価に不可欠の手法となっています。