ウェハー成膜加工のご案内〜加工枚数を選ぶ

 ■ ウェハーの基本単位は25 枚/ セット

半導体ウェハーはベアウェハーの生産からデバイス加工前工程の出荷にいたるまで、25 枚を1セットとしてハンドリングされています。
6 インチ以上のウェハーはその口径に関係なくすべて25 枚/ セットが業界標準であり、ウェハーの収納ケース、搬送用カセット、装置へのロード・アンロードなどの操作は一貫して25 枚を単位として設計、運用されています。
お客様の評価用ウェハーの必要枚数はまちまちですが、25 枚/ セットもしくはその倍数が、もっとも効率的で経済的な加工枚数となります。
24 枚以下の端数ウェハーも加工は可能ですが、セットアップから加工完了までの手間は25 枚の場合とさほど変わらないため、コスト面からも加工枚数は25 枚/ セットがお勧めです。

 ■ ベアウェハーのご手配

ウェハー加工用のベアウェハーについては、アイテスでご用意する場合、お客様からご支給いただく場合、のいずれにも対応いたします。

  • ウェハー込みのご依頼の場合は標準ダミー仕様ウェハーが基本ですが、ウェハー仕様をご指定いただくこともできます。
  • ウェハーご支給の場合は、検査表つき未開封の新品で、工場の受入検査合格が前提となります。再生ウェハーの調達またはご支給については、加工元により受入条件が異なりますのでご相談ください。
    また、加工済みウェハーの再投入は加工ラインへの汚染持込の懸念から原則お受けできませんが、受入可能な加工ラインもありますのでご相談ください。

 ■ 少数ウェハー加工のお取扱い

25 枚未満の少数ウェハー加工のご依頼にも迅速に対応します。

  • ウェハー込みの場合は在庫品や工場の評価用ウェハー端数品からご希望枚数を手配でき、納期的にも有利となります。
  • ご支給の場合は25 枚/ ケースの中からご希望枚数を取り出し加工、納品し、未使用ウェハーは加工品出荷時に返送します。
    25枚のうち、5 枚づつ膜厚を変えて4 種20 枚を成膜、未使用の5 枚を返送、といった小回りの利く対応もいたします。
    25 枚未満のウェハーケースについては原則実費ご負担願います。
    ウェハーサイズによって価格、納期など対応が異なりますので個別にご相談ください。

ウェハー加工のお話 その3 : ウェハー加工は隙間ビジネス?

アイテスウェハー加工ビジネスは8 インチ半導体デバイスライン立上げからしばらくして始まり、十数年の間成長してきました。
生産量には常に波があるため、その隙間をぬって手空きの装置や人を活用して加工、メーカーにとっては貴重な臨時収入となります。
ところが、少量多品種の加工は量産メーカーにとっては手間隙のかかるルーチン外の厄介な仕事であり、またフル生産の時には加工キャパが無く、これでは、安定したウェハー加工品の供給ビジネスは成り立ちません。
アイテスでは量産メーカー出身のエンジニアが中心となり、少量多品種案件の仕様打合せ方式や入出荷などのロジスティックスを構築、実績を重ね、メーカーのウェハー加工専門要員と常時加工数量枠を確保できるまで体制を整えています。
現在の小回りの利くきめ細かなサービスがタイムリーに提供できるのは、今までに培った相互信頼のおかげ、ここ数年来毎月約数千枚の8 インチウェハー加工品がアイテスからお客様のもとへ届けられています。