EBSDの事例として、シリコンウエハを示します。
測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。
IPFマップ
ウエハから小片を切り出し、中央50×50 μm の領域にてIPFマップを取得しました。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶であることが確認できます。
極点図
つづいて極点図の確認を行いました。001極点図を見ると、A3（測定面）を示す中心付近が強くなっていることから、 シリコンウエハの{001}面は測定面の方向を向いていることが確認できます。
逆極点図
逆極点図の確認も行いました。A3（測定面）の逆極点図を見ると001付近が強くなっていることから、測定面は{001}面の方向を向いていることが確認できます。