表面および深さ方向の元素分析を行います。
特徴
日本電子製 JAMP-7100E
微小物およびバルク試料の最表面（数nm程度）の元素分析が可能
指定元素に対しての深さ方向分析が可能
装置概要
| 最高空間分解能 | ： 1um |
| 最高深さ方向分解能 | ： 5nm |
| 深さ方向分析能 | ： ～1uｍ |
| スパッタリングイオン | ： Ar＋ |
事例
| 表面分析/無機分析のご依頼・お問い合せ |
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