表面および深さ方向の元素分析を行います。
特徴

日本電子製 JAMP-7100E
微小物およびバルク試料の最表面(数nm程度)の元素分析が可能
指定元素に対しての深さ方向分析が可能
装置概要
最高空間分解能 | : 1um |
最高深さ方向分解能 | : 5nm |
深さ方向分析能 | : ~1um |
スパッタリングイオン | : Ar+ |
事例
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