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週間分析馬鹿(re) Vol.001
分析一筋十三年。分析ヲタクがお送りする、業務中の分析あるあるや面白い装置の紹介等
描くコーナーです。気軽にしかし、妙なところで役に立つ内容をお送りします。
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最新の顕微ラマン分光装置が導入されました ～分析ヲタクの念願～
こんにちは、分析ヲタクです。
一部のコアなファンから支持されてきました「週間分析馬鹿」ですが、
メールマガジンのワンコーナーからHPのブログの方へ引越しました。
こちらの方では写真も掲載できるので内容がパワーアップした感じです。
メールマガジンから引き続きの読者の方、今後ともマニアックなお話にお付き合いください。
さて、前置きはこれぐらいにして今回ご紹介するのは
「最新の顕微ラマン分光装置」です！！
日本分光社製 NRS-5500
搭載LASER 532nm 633nm
外観ですが近未来的な形をしていて、なかなかスタイリッシュです。
「ウィーン、ガシャン」という音とともに扉が開き、中はこんな感じです。
‘顕微’なので光学顕微鏡の試料室が見えます。
観察室にデフォルトでライトがついているところが分析者としては嬉しいところです。
3年かかって導入した装置なので、分析ヲタク、感無量です。
さて、感動を胸に秘めて、この装置のどこがすごいかをご紹介したいと思います。
この装置の特徴を簡単に記します。
1. 微小な異物分析も感度良く分析できる
2 .波数分解能が高いので、Siウェハ等の応力の測定ができる。
1.についてはどこのメーカーの顕微ラマンも特徴としてあげている内容だと思います。
ラマン活性の高いものでしたら1μmぐらいの異物まで分析することができます。
顕微赤外では分析が難しい場合に、顕微ラマンの登場が多いです。
2.については、マニアしかご存知ないと思いますがラマンでは応力が測定ができます。
物質が押し縮んだり、引っ張られたりすると特定のピークがちょっとだけ動きます。
この微小な動きを検出することができれば、応力が検出できるという仕組みです。
この1と2の機能ですが実は両立させることが非常に難しい性能になります。
日本分光さんの技術者の方が知恵を絞ってくださり、両立が難しいと思っていた
上記の機能を両立させてくださりました。前○さん、ありがとうございます。
「微小異物の分析したいなー」、
「Siの残存応力を可視化したいなー」
等ありましたら是非、ご相談ください。
次回は具体的なデータ等を記載できたらと考えいます。
以上、分析ヲタクでした。また来週～。