・LSI等の金属配線に電子線が入射すると、配線中に吸収電流が生じます。この吸収電流をナノプローバ
　で針当てしてセンスし、アンプで増幅して表示することで、等電位の接続配線に沿ってコントラストが
　でます。
　断線箇所が存在すると、それより先のコントラストが出ないため断線箇所を特定できます。

・隣接する配線との間にショート不良がある場合は、そのネットもハイライトされるため、ショートして
　いるネットが特定できます。

・吸収電流を電圧センスすることで、配線内の抵抗分圧に基づいたコントラストが得られるため、ビア
　チェーンなどのTEGで高抵抗不良箇所を検出することもできます。