XPS(X線光電子分光法,X-ray Photoelectron Spectroscopy)は極表面層 数nm領域の元素分析と化学状態の分析が可能です。
また、イオンエッチングとの併用で深さ方向の分析も可能です。
特徴と装置概要
最表面より100Å程度までの元素分析および状態分析を行います。
特徴

SSI 社製 XPS M-PROBE
・試料最表面の元素分析が可能
・表面の物質(特に無機物)の結合情報が得られる
・Arイオンによるエッチングにより深さ方向の元素の分布が測定可能
・試料を傾斜させることによりさらに再表面の分析が可能
・中和銃により絶縁物の分析も可能
装置概要
・分析領域: 200μmΦ~400×1000μm
・分析可能元素: Li~U
・X線源はAlのモノクロX線源を使用
・高真空中での分析
事例