表面分析

不織布シートや膜材料の孔径、細孔分布の評価は、機能材料の性能評価、品質管理において重要な分析項目です。不織布シートの最大孔径、細孔分布を、バブルポイント法を用いて評価した例を紹介します。 バブルポイント法について バブルポイント法は、紙、不織布などシート状材料の孔径評価に適した分析手法です。概要を図1に示します。 試料を薬液に浸漬し空気圧を加えます。圧力を加え、シートに染み込んだ薬液の表...

超微小硬度測定の荷重変曲線から、様々な材料の顔（特性）が見えてきます。

半導体や絶縁物の中で、比較的バンドギャップが広い物質や薄膜のバンドギャップを、XPSを使用して簡易的に測定することが可能です。

汚染や異物の分析には SEM-EDX が利用されていますが、windowless EDX を除く一般的な EDX では Li の検出は困難です。一方、TOF-SIMS は Li を感度よく検出することができます。TOF-SIMS と SEM-EDX で Li の分析を比較した事例を示します。

様々な表面分析手法を用いて、異物、変色、汚染などのお困りごとの解決に向けてお役立て致します。

素材は、使用環境により変質変色することが多い。変質変色により製品の性能や意匠性に問題が生じるが、化学分析によりその分子構造の変化を把握解明することで、問題の対策や回避が可能となります。本資料では、表面分析による元素および結合状態分析で比較検証した事例をご紹介します。

EPMAは特徴の一つに、ガイドネットマップ法があります。SEM-EDXでは測定範囲が狭く、湾曲試料では面分析が正しく測定できないことがありますが、EPMAのガイドネットマップ法を用いることで、広範囲の分析が可能になります。 ガイドネットマップ法 隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、一括して表示するための手法です。高低差が不均一な面に対して測定を行ったり、大きな面の測定を行う...

一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっき表面を分析した際、下層のNiが露出していないにも関わらず検出される場合がある。これは電子線の散乱深さに関連性があり、正しい分析結果を得るには適切な加速条件を設定する必要がある。今回、モンテカルロシミュレーションを用いて加速電圧の違いによるEDX検出深さについて確認を行った。

試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの構造解析を実現します。

試料の観察には光学顕微鏡とSEM（走査電子顕微鏡）がよく用いられますが、それぞれ特徴があるので目的に応じた装置を選択する事が大切です。以下に光学顕微鏡とSEMを同じサンプルで比較し一般的に言われているメリット、デメリットを挙げさせて頂きます。 光学顕微鏡の特徴 メリット ・色情報が得られる ・大気中での観察の為、水分を含むものも可能 ・導電コート等の前処理が不要で...

電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能です。 ステージ駆動による広域イメージマップ TOF-SIMSの通常測定（ビームスキャン測定は、サイズ500μm x 500μm以下を測定対象としています。一方、電動ステージと組み合わせることで、広い領域についてイメージマップ測定が可能です。 ...

TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、
有機物の分析にも有効です。
有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。

通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。

TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は 軽元素、無機物から
分子量の大きい有機物まで、最表面の微量成分の分析が可能です。

受託分析　XPSのご紹介です。
無機物、金属のみならず、プラスチック（ポリマー）表面の分析も可能であり、その応用範囲は広範囲です。ポリアミド（PA）、ポリイミドﾄﾞ（PI）ﾌｨﾙﾑ表面の結合状態分析により、その微妙な分子構造の差起因のスペクトル形状および結合エネルギーから、分子原子レベルの挙動、官能基種の把握が可能です。ナノレベル表面の劣化変質などの不具合解析に有効な分析手法です。

受託分析　TOF-SIMSのご紹介です。
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です。
SEM-EDXでは検出できなかった微量汚染もTOF-SIMSなら検出できるかもしれません。

受託分析　オージェ電子分光法のご紹介です。
極表面層 数nm領域の元素分析を行います。スパッターエッチングと組合せることにより接合部界面の深さ方向分析も可能です。

受託分析　TOF-SIMSのご紹介です。
シリコンウェハ、ガラス基板、プリント配線基板など洗浄工程を必要とする、さまざまな基板上の界面活性剤等の残渣あるいは目に見えない微量汚染物質の解析が可能です。

受託分析　XPS（X線光電子分光法,X-ray Photoelectron Spectroscopy)のご紹介です。
極表面層 数nm領域の元素分析と化学状態の分析を行います。また、イオンエッチングとの併用で深さ方向の分析も可能です。
事例：Al表面酸化状態分析、銀メッキ表面の変色分析