TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です。
SEM-EDXでは検出できなかった微量汚染もTOF-SIMSなら検出できるかもしれません。
汚染物の光学像とSEM像
再現実験により、Si ウエハ上に水玉状の汚染物を作成した。同じ位置でSEM-EDXとTOF-SIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を行いました。
SEM-EDX イメージマップ（EDX分析感度：％オーダー ）
SEM-EDXイメージマップではウォーターマークからわずかにC, O が検出されました。汚染物は主元素としてC, O が含まれていることがわかります。
TOF-SIMS イメージマップ（TOF-SIMS分析感度：ppmオーダー）
TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物(CH, CN), Na, K, が検出されました。ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と思われるものが確認できませんが、 TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が付着していることがわかりました。