TOF-SIMS分析 TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は、軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで、最表面の微量成分の分析が可能です。 装置概要 主なスペック 1次イオン Ga+ 単原子Ar+スパッターイオン 単原子Ar+ Cs+ 検出器 飛行時間型質量分析計(リフレクトロン)分析領域 元素イオン 約5μm~4cm 有機物イオン 約50μm~4cm検出深さ 1~2nm検出下限 数ppm(イオン種・試料に依存)最大試料サイズ 縦横5x5cm(※) 高さ1cm (※) 重さ50g (※)これより大きいサイズは要相談 原理と光学系 パルス状の一次イオンをサンプルに照射し、表面から放出された二次イオンの飛行時間により質量分析を行います。質量の大きなイオン程、検出器に到達する時間が長くなり、質量の分離が出来ます。 3つの分析モード 最表面の分析モードとして、定性のための質量スペクトル分析、水平方向の分布確認のための面分析を行うことができます。また、スパッターイオンガンを組み合わせることで、深さ方向の元素分布の分析を行うことができます。 質量スペクトル分析 面分析 深さ方向分析 お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから