TOF-SIMS分析

TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は、軽元素、無機物から分子量の大きい有機物
まで、最表面の微量成分の分析が可能です。

装置概要

TOF-SIMSの装置写真

主なスペック

1次イオン        Ga+ 単原子Ar+
スパッターイオン   単原子Ar+ Cs+ 
検出器        飛行時間型質量分析計(リフレクトロン)
分析領域       元素イオン    約5μm~4cm
           有機物イオン 約50μm~4cm
検出深さ       1~2nm
検出下限       数ppm(イオン種・試料に依存)
最大試料サイズ    縦横5x5cm(※)  高さ1cm (※)  重さ50g
            (※)これより大きいサイズは要相談

原理と光学系

パルス状の一次イオンをサンプルに照射し、表面から放出された二次イオンの飛行時間により質量分析を行います。
質量の大きなイオン程、検出器に到達する時間が長くなり、質量の分離が出来ます。

TOF-SIMSの原理と光学系
TOF-SIMSの原理と光学系

3つの分析モード

最表面の分析モードとして、定性のための質量スペクトル分析、水平方向の分布確認のための面分析を行うことができます。
また、スパッターイオンガンを組み合わせることで、深さ方向の元素分布の分析を行うことができます。

質量スペクトル分析

面分析

TOF-SIMS 面分析

深さ方向分析

TOF-SIMSの深さ方向分析