温度範囲 : 50℃~150℃
加熱方式 : 温風による加熱(フィクスチャボード上のソケット・デバイス等を熱風発生器で加温)
制御方法 : デバイス付近にセンサーを設置し 温度調節器で制御(温度センサ:Pt100)
事前確認としてデバイス表面温度を測定し、ヒーターの出力値を調整します
試験装置 : ESD/ラッチアップテスタ M7000A-512EL
装置仕様 : VCC電源搭載数 4台(VCC1:100V/0.5A、 VCC2~VCC4:50V/1A)
: 電源過電圧印加法のVCC電圧+VTパルス電圧は、最大150Vまで設定可能