多層基板や微細配線基板等の評価において、低抵抗値での測定を行なうことがあります。
In-Situ常時測定試験は、信頼性試験環境下においてのストレスを印加しながら導通(低抵抗値)の変化を常時測定することが出来ます。
低抵抗測定システム仕様
| 測定項目 | 抵抗値／温度 |
| 抵抗測定チャネル数 | 最大 120ch |
| 抵抗測定チャネル数 | 最大 10ch |
| 抵抗測定法 | ４端子法 |
| 温度測定 | 熱伝対（T型） |
| 測定間隔 | 標準 60sec |
| 測定範囲 | 10mΩ ～ 10KΩ |
| 確度 | ±１mΩ |
| 測定データ記録 | 毎測定時 |
In-Situ TC試験装置 / 低抵抗測定結果
低抵抗In-Situ TC試験装置[/one-half]
低抵抗値によりストレス中の時間経過変動を測定することが今までの装置では困難であった試料に対しても劣化推移を捉えることが可能です。
低抵抗測定結果（各サイクル最大値）