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太陽光パネル EL・PL 検査装置 構成例

EL・PL検査装置_パネル(モジュール)EL検査の構成例
 レンズを交換することにより、10mm 角のサンプルから、太陽光パネル(モジュール)1枚全体、 さらに 4m x 3m の範囲の太陽光パネル・アレイまで撮影できます。
2400万画素(6000 x 4000 画素)の高解像度で鮮明な画像が得られます。
撮影は、撮影ボタンをクリックするだけ。しかもオートフォーカスです。
製品名 : PVX330
機器構成:CMOS センサーカメラ、20mm レンズ(35mm レンズ、60mm マクロレンズ、10~24mm ズームレンズ等に交換可)、三脚(またはカメラスタンド)、EL 用電源、制御 PC、PVX330 ソフトウェア、簡易暗室(必要に応じて)、オートフォーカス用照明

こちらから、カタログをダウンロードできます。(1MB)
PVX330 での撮影の様子
 設置サイズ : ( L+500 ) x ( L+500 )mm   ( “L” は太陽光パネルの長辺の長さ)
2000mm x 1000mm のパネルの場合、2500mm x 2500mm が目安です。
 主な仕様
EL検査装置 PVX330 の主な仕様
撮影事例
PVX330 で撮影した PERC モジュールの EL 画像
EL・PL検査装置_太陽光パネル(セル)EL・PL検査の構成例
PVX330 にPL 励起用光源 POPLI-3C を追加で導入していただくことにより、お手持ちの機器をそのまま使って PL イメージングが可能になります。 PL イメージングは、観察試料への電力供給が不要なので、電極が形成されていないセルや配線が完了していないモジュールでも撮影が可能です。
また、EL と PL を併用することにより、EL では観察できない、例えば断線している場合でも PL により素子の劣化等を観察できます。
撮影の光学系が同じであるため、EL と PL の画像を重ね合わせて容易に比較できます。

製品名 : PVX330 + POPLI-3C
機器構成 : CMOS センサーカメラ、20mm レンズ、POPLI-3C、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX330 ソウトウェア、POPLI-3C 制御ソフトウェア、セルコンタクト治具(必要に応じて)、卓上簡易暗室(必要に応じて)
主な仕様 (POPLI-3C)
     PVX330 の仕様は、PVX330 の
     項目を参照してください。
PL 励起用光源 POPLI-3C の主な仕様
撮影事例
高温高湿試験後の EL 観察画像
【クラック内在セルの高温高湿試験評価】

高温高湿試験後 EL 観察

電極が劣化し、導通がなくなった領域は発光しない
高温高湿試験後の PL 観察画像
高温高湿試験後 PL 観察

セル全体が発光
導通がなくなった領域がより強い

それぞれの観察結果を比較することにより、電極の劣化か素子の劣化かを判定できます。
EL・PL検査装置_高均一性PL励起光によるウェハーPL検査の構成例
PVX1000 + POPLI-Octa は、セル製造工程中のウェハーをフォトルミネセンスで評価することができます。
熱拡散後の PN 接合層や AR 層成膜のパッシベーション効果と表面汚染、裏面絶縁層の保護効果、Local-BSF の評価などが可能です。
また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。一例として、モジュールに逆バイアスを印加してリーク点を観測することにより PID が発症している欠陥個所を簡便に特定できます。

製品名 : PVX1000 + POPLI-Octa
機器構成 : 冷却 CCD カメラ、25mm C マウントマクロレンズ、POPLI-Octa、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱

こちらから、カタログをダウンロードできます。(380KB)
特徴
1.シリコンウェハ(6 インチ角以下)
2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C)
3.面光源により一括イメージング観測が可能
4.高機能画像演算ソフト搭載
基本機能
1.Photo-luminescence imaging
2.Electro-luminescence imaging
3.画像演算
4.画像特徴量計算
5.Dark-IV 測定
6.直列抵抗値算出
7.LEAK 電流測定
主な仕様(PVX1000)
EL・PL検査装置 PVX1000 の主な仕様
主な仕様(POPLI-Octa)
PL 励起用光源 POPLI-Octa の主な仕様
撮影事例
単結晶セルの PL 画像_熱拡散工程
【単結晶(Al-BSF)セル工程 PL 画像】

熱拡散
PN 接合層欠陥
単結晶セルの PL 画像_AR 形成工程
AR 形成
バキュームチャックによる表面汚染
単結晶セルの PL 画像_Ai-BSF 形成工程
Al-BSF 形成
暗部が不良個所

試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所
福島再生可能エネルギー研究所
EL・PL検査装置_ウェハーの微細構造PL検査の構成例
PVX1000 + POPLI-μ は、セル製造工程中のウェハーの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。
PERC であれば、PL 強度で個々の Local-BSF の評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージを評価することが可能です。
また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。

製品名:PVX1000 + POPLI-μ
機器構成:制脚 CCD カメラ、顕微鏡、POPLI-μ、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱
特徴
1.シリコンウェハ(6 インチ角以下)
2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C)
3.面光源により一括イメージング観測が可能
4.高機能画像演算ソフト搭載
主な仕様(POPLI-μ)
      PVX1000 の仕様は、PVX1000
      の項目を参照してください。
PL 励起用光源 POPLI-μ の主な仕様
 撮影事例
顕微Photo-Luminescence法でのLocal-BSFの評価_抜粋

試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所
福島再生可能エネルギー研究所

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