太陽光パネル EL・PL 検査装置 構成例 EL・PL 検査装置 PVX・POPLI の代表的な機器構成をご紹介します。 【 PVX330 】太陽光パネル(モジュール)の EL 検査 ■ レンズを交換することにより、10mm 角のサンプルから、太陽光パネル(モジュール)1枚全体、 さらに 4m x 3m の範囲の太陽光パネル・アレイまで撮影できます。 2400万画素(6000 x 4000 画素)の高解像度で鮮明な画像が得られます。 撮影は、撮影ボタンをクリックするだけ。しかもオートフォーカスです。 ■ 製品名 : PVX330 ■ 機器構成:CMOS センサーカメラ、20mm レンズ(35mm レンズ、60mm マクロレンズ、10~24mm ズームレンズ等に交換可)、三脚(またはカメラスタンド)、EL 用電源、制御 PC、PVX330 ソフトウェア、簡易暗室(必要に応じて)、オートフォーカス用照明 こちらから、カタログをダウンロードできます。(1MB) ■ 設置サイズ : ( L+500 ) x ( L+500 )mm ( “L” は太陽光パネルの長辺の長さ) 2000mm x 1000mm のパネルの場合、2500mm x 2500mm が目安です。 ■ 主な仕様 ■ 撮影事例 【 PVX330 + POPLI-3C 】太陽光パネル(セル)の EL・PL 検査 ■ PVX330 にPL 励起用光源 POPLI-3C を追加で導入していただくことにより、お手持ちの機器をそのまま使って PL イメージングが可能になります。 PL イメージングは、観察試料への電力供給が不要なので、電極が形成されていないセルや配線が完了していないモジュールでも撮影が可能です。 また、EL と PL を併用することにより、EL では観察できない、例えば断線している場合でも PL により素子の劣化等を観察できます。 撮影の光学系が同じであるため、EL と PL の画像を重ね合わせて容易に比較できます。 ■ 製品名 : PVX330 + POPLI-3C ■ 機器構成 : CMOS センサーカメラ、20mm レンズ、POPLI-3C、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX330 ソウトウェア、POPLI-3C 制御ソフトウェア、セルコンタクト治具(必要に応じて)、卓上簡易暗室(必要に応じて) ■ 主な仕様 (POPLI-3C) PVX330 の仕様は、PVX330 の 項目を参照してください。 ■ 撮影事例 【クラック内在セルの高温高湿試験評価】 ■ 高温高湿試験後 EL 観察 電極が劣化し、導通がなくなった領域は発光しない ■ 高温高湿試験後 PL 観察 セル全体が発光 導通がなくなった領域がより強い それぞれの観察結果を比較することにより、電極の劣化か素子の劣化かを判定できます。 【 PVX1000 + POPLI-Octa 】高均一性 PL 励起光による PL 検査 ■ PVX1000 + POPLI-Octa は、セル製造工程中のウェハーをフォトルミネセンスで評価することができます。 熱拡散後の PN 接合層や AR 層成膜のパッシベーション効果と表面汚染、裏面絶縁層の保護効果、Local-BSF の評価などが可能です。 また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。一例として、モジュールに逆バイアスを印加してリーク点を観測することにより PID が発症している欠陥個所を簡便に特定できます。 ■ 製品名 : PVX1000 + POPLI-Octa ■ 機器構成 : 冷却 CCD カメラ、25mm C マウントマクロレンズ、POPLI-Octa、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱 こちらから、カタログをダウンロードできます。(380KB) ■ 特徴 1.シリコンウェハ(6 インチ角以下) 2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C) 3.面光源により一括イメージング観測が可能 4.高機能画像演算ソフト搭載 ■ 基本機能 1.Photo-luminescence imaging 2.Electro-luminescence imaging 3.画像演算 4.画像特徴量計算 5.Dark-IV 測定 6.直列抵抗値算出 7.LEAK 電流測定 ■ 主な仕様(PVX1000) ■ 主な仕様(POPLI-Octa) ■ 撮影事例 【単結晶(Al-BSF)セル工程 PL 画像】 ■ 熱拡散 PN 接合層欠陥 ■ AR 形成 バキュームチャックによる表面汚染 ■ Al-BSF 形成 暗部が不良個所 試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所 【 PVX1000 + POPLI-μ 】ウェハー微細構造の PL 検査 ■ PVX1000 + POPLI-μ は、セル製造工程中のウェハーの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。 PERC であれば、PL 強度で個々の Local-BSF の評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージを評価することが可能です。 また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。 ■ 製品名:PVX1000 + POPLI-μ ■ 機器構成:制脚 CCD カメラ、顕微鏡、POPLI-μ、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱 ■ 特徴 1.シリコンウェハ(6 インチ角以下) 2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C) 3.面光源により一括イメージング観測が可能 4.高機能画像演算ソフト搭載 ■ 主な仕様(POPLI-μ) PVX1000 の仕様は、PVX1000 の項目を参照してください。 ■ 撮影事例 試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所