太陽光パネル EL・PL 検査装置構成例-2 – PVX1000, POPLI-Octa

EL・PL 検査装置 PVX・POPLI の代表的な機器構成をご紹介します。

【 PVX1000 + POPLI-Octa 】高均一性 PL 励起光による PL 検査

■ PVX1000 + POPLI-Octa は、セル製造工程中のウェハーをフォトルミネセンスで評価することができます。
熱拡散後の PN 接合層や AR 層成膜のパッシベーション効果と表面汚染、裏面絶縁層の保護効果、Local-BSF の評価などが可能です。
また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。一例として、モジュールに逆バイアスを印加してリーク点を観測することにより PID が発症している欠陥個所を簡便に特定できます。
■ 製品名： PVX1000 + POPLI-Octa
■ 機器構成：冷却 CCD カメラ、25mm C マウントマクロレンズ、POPLI-Octa、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱

こちらから、カタログをダウンロードできます。(380KB)

■ 特徴

１．シリコンウェハ（6 インチ角以下）
２．超高感度冷却 CCD カメラ使用（100万画素（1024 x 1024 画素）、-70°C）
３．面光源により一括イメージング観測が可能
４．高機能画像演算ソフト搭載

■ 基本機能

１．Photo-luminescence imaging
２．Electro-luminescence imaging
３．画像演算
４．画像特徴量計算
５．Dark-IV 測定
６．直列抵抗値算出
７．LEAK 電流測定

■ 主な仕様（PVX1000）

■ 主な仕様（POPLI-Octa）

■ 撮影事例

【単結晶（Al-BSF）セル工程 PL 画像】

■ 熱拡散
PN 接合層欠陥

■ AR 形成
バキュームチャックによる表面汚染

■ Al-BSF 形成
暗部が不良個所

試料提供：国立研究開発法人産業技術総合研究所
福島再生可能エネルギー研究所

【 PVX1000 + POPLI-μ 】ウェハー微細構造の PL 検査

■ PVX1000 + POPLI-μ は、セル製造工程中のウェハーの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。
PERC であれば、PL 強度で個々の Local-BSF の評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージを評価することが可能です。
また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。
■ 製品名：PVX1000 + POPLI-μ
■ 機器構成：制脚 CCD カメラ、顕微鏡、POPLI-μ、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱

■ 特徴

■ 主な仕様（POPLI-μ）
PVX1000 の仕様は、PVX1000
の項目を参照してください。

■ 撮影事例

試料提供：国立研究開発法人産業技術総合研究所
福島再生可能エネルギー研究所