太陽光パネル EL・PL 検査装置 構成例-2 – PVX1000, POPLI-Octa EL・PL 検査装置 PVX・POPLI の代表的な機器構成をご紹介します。 【 PVX1000 + POPLI-Octa 】高均一性 PL 励起光による PL 検査 ■ PVX1000 + POPLI-Octa は、セル製造工程中のウェハーをフォトルミネセンスで評価することができます。 熱拡散後の PN 接合層や AR 層成膜のパッシベーション効果と表面汚染、裏面絶縁層の保護効果、Local-BSF の評価などが可能です。 また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。一例として、モジュールに逆バイアスを印加してリーク点を観測することにより PID が発症している欠陥個所を簡便に特定できます。 ■ 製品名 : PVX1000 + POPLI-Octa ■ 機器構成 : 冷却 CCD カメラ、25mm C マウントマクロレンズ、POPLI-Octa、カメラスタンド、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱 こちらから、カタログをダウンロードできます。(380KB) ■ 特徴 1.シリコンウェハ(6 インチ角以下) 2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C) 3.面光源により一括イメージング観測が可能 4.高機能画像演算ソフト搭載 ■ 基本機能 1.Photo-luminescence imaging 2.Electro-luminescence imaging 3.画像演算 4.画像特徴量計算 5.Dark-IV 測定 6.直列抵抗値算出 7.LEAK 電流測定 ■ 主な仕様(PVX1000) ■ 主な仕様(POPLI-Octa) ■ 撮影事例 【単結晶(Al-BSF)セル工程 PL 画像】 ■ 熱拡散 PN 接合層欠陥 ■ AR 形成 バキュームチャックによる表面汚染 ■ Al-BSF 形成 暗部が不良個所 試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所 【 PVX1000 + POPLI-μ 】ウェハー微細構造の PL 検査 ■ PVX1000 + POPLI-μ は、セル製造工程中のウェハーの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。 PERC であれば、PL 強度で個々の Local-BSF の評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージを評価することが可能です。 また、直流電源を用いたモジュールの EL 観測により欠陥個所の位置特定が可能です。 ■ 製品名:PVX1000 + POPLI-μ ■ 機器構成:制脚 CCD カメラ、顕微鏡、POPLI-μ、EL 用電源、制御 PC、PVX1000 ソフトウェア、暗箱 ■ 特徴 1.シリコンウェハ(6 インチ角以下) 2.超高感度冷却 CCD カメラ使用(100万画素(1024 x 1024 画素)、-70°C) 3.面光源により一括イメージング観測が可能 4.高機能画像演算ソフト搭載 ■ 主な仕様(POPLI-μ) PVX1000 の仕様は、PVX1000 の項目を参照してください。 ■ 撮影事例 試料提供:国立研究開発法人産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所