断面加工・観察方法の紹介

fujiko3_staff — Mon, 15 Aug 2022 07:51:57 +0000

機械研磨及び機械研磨＋イオンミリング処理による試料加工について紹介いたします。

機械研磨は最も一般的で歴史の長い断面作製手法であり、広範囲で断面を作製することができます。

また、イオンミリング処理と組み合わせることでCP加工面と同程度の観察面を作製することも可能です。

機械研磨による広観察範囲の例(レーザーポインター)

機械研磨では広範囲の加工及び観察が可能です。

10cm前後の大きさの試料も機械研磨では断面作製が可能で、金属顕微鏡やSEMによる観察、またSEM/EDXによる元素分析も行えます。

機械研磨によるスライス断面からの3D構築の例(Cuマイグレーション)

機械研磨と撮影を繰り返すことで、奥行方向に連続した写真を取得し、それらをソフトで構築することで3次元的に観察することができます。X線CTでは観察が難しい試料や、FIBスライス断面では観察視野が狭い時などに有効です。また、光学顕微鏡写真を使用するため、X線CTとは異なり色情報のある3次元の観察が可能になります。

構築した3D像を元に任意の箇所での観察が可能です。