卓上型SEM | 株式会社アイテス https://www.ites.co.jp Wed, 08 Mar 2023 07:48:18 +0000 ja hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9.9 SEMによる破断面観察(カニカン) https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/sem_fracture.html Fri, 17 Dec 2021 01:19:47 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=33460 長期の使用により破損したカニカンの破断面について、SEMによる観察を行いましたので紹介致します。...

続きを読む→
The post SEMによる破断面観察(カニカン) first appeared on 株式会社アイテス.]]>

長期の使用により破損したカニカンの破断面について、SEMによる観察を行いましたのでご紹介いたします。

SEMによる破断面の観察

全体観察

カニカン
破断面

拡大観察

破断面　端
破断面　端　拡大

破断面端では塑性変形の跡(ディンプル)が見られました。写真右側に引っ張られて破断したことが推測されます。

破断面　中央付近

破断面中央付近は様子が異なりました。
ディンプルは僅かに見られる程度で、引っ張られて破断した様子はほぼ見られず、中央付近ではすでに空隙が存在していたのではないかと推測されます。

 

他にも多種の観察が可能です！
まずは下記までお気軽にお問い合わせください。

お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post SEMによる破断面観察(カニカン) first appeared on 株式会社アイテス.]]> 塗膜の観察 https://www.ites.co.jp/section/index/processing_technologies/tomaku-observe.html Fri, 19 Nov 2021 02:30:07 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=32876 自動車、携帯電話等、様々な製品で使用されている塗膜の観察、分析例をご紹介します。...

続きを読む→
The post 塗膜の観察 first appeared on 株式会社アイテス.]]>

自動車、携帯電話等、様々な製品で使用されている塗膜の観察、分析例をご紹介します。

プラスチック皮膜（携帯電話のケース）の観察

トリプルイオンポリッシャー(CP)

硬・軟材料の共存する試料であっても、ダメージのない加工が可能です。

トリプルイオンポリッシャー（CP）

ミクロトーム

断面作製のみならず、平面傾斜切削も可能です。

ミクロトーム

卓上斜め切削機

表面情報として元の厚みの6～300倍のサンプル面を取り出すことが可能です。

サンプル1
サンプル2

卓上型SEM（電子顕微鏡）

低真空下での観察が可能なモード（帯電軽減）があり、揮発成分が出る試料の観察や元素分析が可能です。

卓上型SEM(電子顕微鏡)
お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 塗膜の観察 first appeared on 株式会社アイテス.]]> 各種顕微鏡の視野サイズ https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/microscope.html Tue, 09 Nov 2021 03:00:44 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=32696 卓上SEMの視野サイズ 試料の大きさに合わせて全体像を撮りたいとき 撮影写真の総枚数を見積りたいとき 写真1枚分の視野幅の目安、拡大倍率の画像見本としてご活用ください。 卓上電子顕微鏡の視野幅 (日立ハイテクノロジーズ社...

続きを読む→
The post 各種顕微鏡の視野サイズ first appeared on 株式会社アイテス.]]>

卓上SEMの視野サイズ

  • 試料の大きさに合わせて全体像を撮りたいとき
  • 撮影写真の総枚数を見積りたいとき

写真1枚分の視野幅の目安、拡大倍率の画像見本としてご活用ください。

卓上電子顕微鏡の視野幅 (日立ハイテクノロジーズ社製　TM3030Plus)

（µm）

日立ハイテクノロジーズ社製　電子顕微鏡の視野幅

画像見本 (MLCC/1005サイズ)

ｘ 40

SEM_40

ｘ 400

SEM_400

ｘ 1500

SEM_1500

ｘ 100

SEM_100

ｘ 800

SEM_800

ｘ 3000

SEM_3000

ｘ 200

SEM_200

ｘ 1000

SEM_1000

ｘ 8000

SEM_8000

FE-SEMの視野サイズ

  • 試料の大きさに合わせて全体像を撮りたいとき
  • 撮影写真の総枚数を見積りたいとき

写真1枚分の視野幅の目安、拡大倍率の画像見本としてご活用ください。

FE-SEM/高分解能電子顕微鏡の視野幅 (ZEISS社製　ULTRA-55)

（µm）

画像見本 (MLCC/1005サイズ)

ｘ 40

FE-SEM_40

ｘ 500

FE-SEM_500

ｘ 5000

FE-SEM_5000

ｘ 100

FE-SEM_100

ｘ 1000

FE-SEM_1000

ｘ 10000

FE-SEM_10000

ｘ 200

FE-SEM_200

ｘ 3000

FE-SEM_3000

ｘ 30000

FE-SEM_30000

金属顕微鏡（オリンパス社製）の視野サイズ

写真1枚分の視野幅の目安、拡大倍率などの画像見本としてご活用ください。

金属顕微鏡の視野幅 (オリンパス社製　BX53M)

（µm）

オリンパス社製金属顕微鏡の視野幅

カメラアダプタ (x0.5) を使用することで、さらに視野範囲が拡がります !
対物レンズ倍率はそのままで、広範囲の観察が可能 !

画像見本 (MLCC/1005サイズ)　カメラアダプタ x0.5 を使用

ｘ 2.5

OLYMPUS_2.5

ｘ 20

OLYMPUS_20

ｘ 5

OLYMPUS_5

ｘ 50

OLYMPUS_50

ｘ 10

OLYMPUS_10

ｘ 100

OLYMPUS_100

金属顕微鏡（ニコン社製）の視野サイズ

写真1枚分の視野幅の目安、拡大倍率などの画像見本としてご活用ください。

金属顕微鏡の視野幅 (Nikon社製　ECLIPSE　LV100)

（µm）

Nikon社製金属顕微鏡の視野幅

画像見本 (MLCC/1005サイズ)　カメラアダプタ x1.0

ｘ 2.5

ｘ 20

Nicon_20

ｘ 5

ｘ 50

ｘ 10

Nicon_10

ｘ 100

Nicon_100
お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 各種顕微鏡の視野サイズ first appeared on 株式会社アイテス.]]> 卓上型SEM（電子顕微鏡） https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/microscope_crack.html Tue, 09 Nov 2021 03:00:15 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=32742 卓上型SEM(電子顕微鏡) SEM観察が一般化されて半世紀。あらゆる分野にてSEM観察は重要な観察手段となっています。卓上型SEMの“帯電軽減モード”なら、 FE-SEMでは観察できない試料も観察、分析が可能かもしれませ...

続きを読む→
The post 卓上型SEM（電子顕微鏡） first appeared on 株式会社アイテス.]]>

卓上型SEM(電子顕微鏡)

SEM観察が一般化されて半世紀。あらゆる分野にてSEM観察は重要な観察手段となっています。
卓上型SEMの“帯電軽減モード”なら、 FE-SEMでは観察できない試料も観察、分析が可能かもしれません。
半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野でも活用できます。

日立ハイテク社製　TM3030Plus

SEMの原理は電子を試料にあて、試料からでてくる2次電子、反射電子を像としています。
FE-SEM観察では高真空下で観察する必要があり、水分や油など揮発成分が出る試料は真空度が低くなるため、観察ができない場合があります。

卓上型SEMでは、低真空下での観察が可能なモード（帯電軽減）があるため、揮発成分がでる試料の観察や元素分析が可能です。

日立ハイテク社製　TM3030Plus
TM3030Plus　装置スペック

半導体、電子部品などの導電性のある試料は主に通常/導電体モードでSEM観察がお勧め。

セラミックコンデンサ

元素分析は導電体/分析モードがお勧め。

プラスチック、紙、ゴム、セラミックスなど導電性のない試料や水分・油分を含む生物、植物、食品、化粧品などの観察は表面・通常/帯電防止モードでのSEM観察がお勧め。

元素分析は帯電防止/分析モードがお勧め。

スペクトル分析・マッピング分析・ライン分析

卓上型SEM（電子顕微鏡）によるネオジム磁石の断面観察

ネオジム磁石など磁性を帯びた試料は、着磁状態でSEM観察はできませんが、脱磁処理を施すことで、SEM観察や元素分析を行うことができます。

ネオジム磁石の脱磁とSEMによる断面観察（日立ハイテク社製TM3030Plus）

脱磁処理 (磁石は、着磁状態でのSEM観察が不可能なため、脱磁を実施)

ネオジム磁石

ハードディスク内部で使用されていたネオジム磁石を脱磁処理し、断面観察。

ネオジム磁石の処理前、処理後

断面観察

断面観察

EDXによる元素分析

EDXによる元素分析

卓上型SEM（電子顕微鏡）によるクラック観察

製品の信頼性評価において、クラックの断面観察は欠かせません。
光学顕微鏡観察では見落とす可能性がある微小なクラックもSEM観察では明確に確認することが可能です。
しかも卓上SEMなら、 導電処理が不要で、すばやく詳細な観察ができます。

チップセラミックコンデンサの金属顕微鏡観察

金属顕微鏡観察

チップセラミックコンデンサの卓上SEM観察 （日立ハイテク社製TM3030Plus）

SEM観察

蒸着不要！

簡易的に結晶粒が見える !

微細なクラックが見えやすい !

クラック
お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 卓上型SEM（電子顕微鏡） first appeared on 株式会社アイテス.]]> 似て非なる物の解析基本手法 https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/similar_and_non-similar.html Thu, 15 Apr 2021 07:13:57 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=27702 解析手法で最も基本的で応用範囲が広い光学顕微鏡観察からSEM観察、EDX元素分析までの流れをご紹介致します。...

続きを読む→
The post 似て非なる物の解析基本手法 first appeared on 株式会社アイテス.]]>

解析手法で最も基本的で応用範囲が広い光学顕微鏡観察からSEM観察、EDX元素分析までの流れをご紹介いたします。

光学顕微鏡による観察

光学顕微鏡による観察は最も基本的な観察手法の一つであり、大まかな形状観察等を素早く行えます。また、最大の特徴は色情報が得られることで、腐食等の変色を伴う異常の観察に活躍します。

サンプルA（光学像）

サンプルA（光学像）

サンプルB（光学像）

サンプルB（光学像）

光学顕微鏡観察では白色で半透明に見えるサンプルAとサンプルBの外観は似ていますが、同じものなのか詳しくSEMで観察します。（サンプルAとBが何かは最後にご紹介いたしますが予想してみて下さい。）

SEMによる観察

SEMによる観察は光学顕微鏡に比べはるかに高い倍率（数万倍）まで対応可能な為、微細な形状観察に用います。また光学顕微鏡のような色情報は得られませんが、材質（軽元素、重元素）によりコントラストが変わる特徴を生かし、樹脂と金属など材質の異なりを観察することができます。

サンプルA（SEM像）

サンプルA（SEM像）

サンプルB（SEM像）

サンプルB（SEM像）

サンプルAは光学観察では不明であった空隙が見られますが、サンプルBは比較的平坦で滑らかな形状です。次はこれらの成分が何かEDXによる元素分析を行います。

EDXによる元素分析

EDXによる元素分析では、対象物から得られるスペクトルにより含まれる元素を特定します。また、含まれる元素濃度を算出することや元素分布を確認することも可能です。

サンプルA（EDX）

サンプルA（EDX像）

サンプルB（EDX像）

元素分析の結果、サンプルAから主に、C(炭素)、N(窒素)、O(酸素)、Ca(カルシウム)、P(リン)が検出されました。一方、サンプルBではC、Oのみの検出でした。

これまでの結果より、サンプルAは白色半透明で微細な空隙があり、C、N、O、Ca、Pが主体の物質であることから、何らかの生体物の骨が推察されます。

サンプルBは白色半透明で表面は滑らかな形状であり、C、Oが主体の物質であることから、何らかの有機系物と推測されます。（ちなみに正解はAが魚の骨、Bがエポキシの樹脂片でした。）サンプルAの空隙は骨の海綿骨と呼ばれる組織構造でCaが主体なのも骨の特徴ですね。

外観は似ていても複数の手法を用いることで違いを見つけ正解に近づくことができる事例でした。

お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 似て非なる物の解析基本手法 first appeared on 株式会社アイテス.]]> ミクロトームによる眼鏡レンズコート層の観察 https://www.ites.co.jp/section/index/processing_technologies/microtome_glasses.html Thu, 11 Mar 2021 01:26:09 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=27120 眼鏡やカメラ等のレンズには様々なコート層が施されています。眼鏡の場合、プラスチックレンズを保護するハードコートや光の反射を抑える反射防止コート、紫外線カットするUVコート等、複数のコート層が施されています。これらの層は非...

続きを読む→
The post ミクロトームによる眼鏡レンズコート層の観察 first appeared on 株式会社アイテス.]]>

眼鏡やカメラ等のレンズには様々なコート層が施されています。眼鏡の場合、プラスチックレンズを保護するハードコートや光の反射を抑える反射防止コート、紫外線カットするUVコート等、複数のコート層が施されています。これらの層は非常に薄い膜を重ねるように施されていますのでその様子を断面から観察してみました。

断面作製方法

断面作製方法としては機械研磨、クロスセクションポリッシャー、FIB等の手法がありますが今回はミクロトームで作製することにしました。

ミクロトーム装置
ミクロトーム装置
切削イメージ

フレームから取り外したレンズを小さくカットし埋め込み樹脂に包埋しました。その後、ミクロトームにて断面を作製し光学顕微鏡観察、SEM観察、EDX分析を行いました。

フレームより取り外したレンズ
光学顕微鏡観察、SEM観察、EDX分析

SEM観察・EDX分析

SEMで観察するとレンズ基材の上にハードコート/多層膜が施されている様子が観察されました。

SEM観察・EDX分析

多層膜ではSiO膜とNb膜が交互に積層されている様子が伺えます。

EDXマッピング

※ さらにクリアに観察・分析するのであれば、TEMがお勧めです。

お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから

EBSDパターン

EBSD（菊池）パターンを指数付けすることで、その点の結晶方位を求めることが可能となります。
詳しく見る

金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例

結晶方位差を観察することで、結晶内の残留応力を推察することができます。
詳しく見る

Cu板における圧縮前後での変化観察

Cu板をIQマップ・GRODマップ・IPFマップで観察しました。
詳しく見る

BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例

BGAの結晶状態や残留応力を解析しました。
詳しく見る

はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例

はんだ界面にCi6Sn5、Ag4Snの化合物が成長していることが分かりました。
詳しく見る

アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例

スポット溶接したサンプルの溶接部の断面を作製し、EBSD分析を行いました。
詳しく見る

Chip

Chip表面の配線(Al)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。パッケージ樹脂を薬液/RIEにより開封して実施しました。
詳しく見る

ウィスカ

ICパッケージのリード端子に発生したウィスカについて、SEM観察及びEBSD解析した事例を紹介します。
詳しく見る

カニカン

長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介致します。
詳しく見る

シリコンウエハ

単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。
詳しく見る

セラミック

セラミック(Al2O3)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

ネジ

ネジ(Cu2Zn)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

パイプ

パイプ(γ鉄(オーステナイト))について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

ビア

積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

高融点はんだ

高融点はんだ(Snを少量含むPb基はんだ)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

鉄板

鉄板(Fe)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
詳しく見る

フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析

屈曲部と固定部でCu配線に違いがあるかEBSDによる確認を行いました。
詳しく見る

黄銅材の比較

似たような元素組成の黄銅材。EBSDにより差異を可視化した事例を紹介致します。
詳しく見る
The post ミクロトームによる眼鏡レンズコート層の観察 first appeared on 株式会社アイテス.]]> 銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析 https://www.ites.co.jp/section/index/processing_technologies/copper_danmen.html Mon, 18 Jan 2021 03:30:46 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=26667 銅端子接合部の状態や接合方法、部材の種類を調査するため、断面観察 及び SEM/EDXによる元素分析を実施しました。 銅端子の断面観察事例　–　試料の外観と断面作製 抵抗測定用銅端子治具の接合部について断面作製を実施。 ...

続きを読む→
The post 銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析 first appeared on 株式会社アイテス.]]>

銅端子接合部の状態や接合方法、部材の種類を調査するため、断面観察 及び SEM/EDXによる元素分析を実施しました。

銅端子の断面観察事例　–　試料の外観と断面作製

抵抗測定用銅端子治具の接合部について断面作製を実施。

治具
輪切りにする
機械研磨
治具断面

銅端子の断面観察事例　–　ケミカルエッチング処理後の光学顕微鏡観察

作製した断面にケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。

エッチング処理前

エッチング処理前

エッチング処理後

エッチング処理後

SEM像

SEM像

銅端子の断面観察事例　–　SEM/EDXによるロウ付け部の元素分析　　

検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りのりん銅ロウ付け材であると推察する。

SEM像拡大

SEM像拡大

EDXスペクトル

EDXスペクトル

EDXマップ

SEM：HITACHI TM3030Plus （電子銃：W、加速電圧：15kV）
EDX：Bruker AXS社製 QUANTAX XFlash 430H

お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析 first appeared on 株式会社アイテス.]]> 低真空SEMによる化粧品の観察・元素分析 https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/semcosme.html Sun, 06 Nov 2016 11:02:11 +0000 http://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=12671 低真空SEMによる受託分析です。
あらゆる分野にて、SEM観察は重要な観察手段となっています。化粧品の観察を例に、低真空SEMの原理と利点をご紹介します。...

続きを読む→
The post 低真空SEMによる化粧品の観察・元素分析 first appeared on 株式会社アイテス.]]>
低真空SEMによる受託分析です。 SEM観察が一般化されて半世紀。あらゆる分野にてSEM観察は重要な観察手段となっています。SEMの原理は電子を試料にあて、試料からでてくる2次電子、反射電子を像としています。SEMには大きくわけて2種類あり、真空度の違いにより高真空SEMと低真空SEMがあります。化粧品の観察を例に、低真空SEMの原理と利点をご紹介します。

☆ 含水試料・含油試料でも観察可能！

高真空SEMは水分・油などがあると揮発成分により真空度が悪くなるため、観察不可能ですが、低真空SEMは揮発成分が存在しても観察可能です！

☆ 金属蒸着は必要ありません！

高真空SEMは試料の帯電を防止するため、一般的に金属蒸着を行います。 低真空SEMは試料室内のガスにより（ガスがイオン化され、試料表面の帯電を緩和）試料は帯電しないため、金属蒸着なしで観察できます！低真空SEMと高真空SEM

日焼け止めクリームの低真空SEM観察

日焼け止めクリームの低真空SEM観察

低真空SEM観察　⇒　そのまま　EDSによる元素分析・マッピング

リキッドファンデーションの低真空SEM観察と元素分析・マッピング
お問い合わせはこちらから
株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
メールでのお問い合わせはこちらから
The post 低真空SEMによる化粧品の観察・元素分析 first appeared on 株式会社アイテス.]]>