EBSD | 株式会社アイテス https://www.ites.co.jp Tue, 22 Oct 2024 01:06:22 +0000 ja hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9.4 SACはんだとNiパッド界面の化合物の解析例 https://www.ites.co.jp/section/index/elemental_analysis/compound-ni-pad-interface.html Tue, 22 Oct 2024 01:00:54 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=44384 Sn-Ag-Cu系はんだとNiPパッド界面に形成される化合物の解析例をご紹介致します。 EDXによる元素分析 面分析 NiPパッドとSn-Ag-Cu系はんだの界面には(Ni,Cu)3Sn4や(Cu,Ni)6Sn5等の化合...

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Sn-Ag-Cu系はんだとNiPパッド界面に形成される化合物の解析例をご紹介致します。

EDXによる元素分析

面分析

SE
Sn

NiPパッドとSn-Ag-Cu系はんだの界面には(Ni,Cu)3Sn4や(Cu,Ni)6Sn5等の化合物が成長しており、EDXによる面分析では化合物中にNiやCu、Snの分布が見られます。

EBSDによる結晶方位解析

相分布図(Phaseマップ)
→結晶系で判別した結晶相を表した図

※EBSD法は試料の持つ結晶構造の情報を基に解析する手法です。
Ni3Sn4と(Ni,Cu)3Sn4、Cu6Sn5と(Cu,Ni)6Sn5はそれぞれ同じ結晶系のため、EBSD法では分離不可となります。
しかし、EDXによる元素分析と合わせて解析することで組成を推定することができ、Ni3Sn4やCu6Sn5の結晶データを代用して解析することが可能な場合があります。

(Ni,Cu)3Sn4のIPF(逆極点図)マップ
→逆極点図を元にした結晶方位マップ

(Ni,Cu)3Sn4の結晶粒分布

結晶粒分布

本資料では(Ni,Cu)3Sn4の逆極点図(IPF)マップと結晶粒径のヒストグラムを示しておりますが、各相の多種のマップを表示することも可能です。

EBSDによる解析を紹介した資料も多数ございます。
資料のご請求や解析のご相談等ございましたら下記までお気軽にお問合せ下さい。

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The post SACはんだとNiパッド界面の化合物の解析例 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDの事例　２つの黄銅材を比較 https://www.ites.co.jp/chemistry/index/component_analysis/ebsd_example.html Tue, 12 Apr 2022 03:29:15 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=chemistry&p=36878 EBSDは結晶方位の測定を得意としています。結晶方位以外にも結晶構造の違いを識別できる場合があります。今回はEBSDの事例として、似たような元素組成をもつ2種類の黄銅材について比較を行いました。結晶構造の違いをもとに、２...

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EBSDは結晶方位の測定を得意としています。結晶方位以外にも結晶構造の違いを識別できる場合があります。今回はEBSDの事例として、似たような元素組成をもつ2種類の黄銅材について比較を行いました。結晶構造の違いをもとに、２つの試料の差異を可視化します。

元素分析による2つの黄銅材の比較

2種類の黄銅材についてSEM-EDXによる分析を行いました。スペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛)から成り、両試料の元素組成は比較的似通っているように見えます。また、元素Cuと元素Znについて面分析を行いましたが、面内分布に偏りは見られませんでした。

試料1（スペクトル分析と半定量値）

試料1（面分析）

試料2（スペクトル分析と半定量値）

試料2（面分析）

EBSDによる2つの黄銅材の比較

EBSD分析を行い 相マップ を確認したところ、試料1の一部に結晶構造の異なる β相 が見られました。試料1には  β相 が含まれることから、両試料に材料物性の差があることが予想されます。

試料1（EBSD 相マップ）

試料2（EBSD 相マップ）

α相とβ相の比率 [%]

黄銅の α相 と β相 は、FCC 構造とCsCl 型構造なので、相マップで区別ができます。

※EBSDとSEM-EDXは同試料の異なる位置で分析しています。

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The post EBSDの事例　２つの黄銅材を比較 first appeared on 株式会社アイテス.]]> フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析 https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-fpc.html Tue, 19 Oct 2021 03:00:17 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=analyzes&p=32271 可動部や折り曲げ機構がある製品に使用されるフレキシブル基板について、屈曲部と固定部でCu配線に違いがあるかEBSDによる確認を行った。...

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可動部や折り曲げ機構がある製品に使用されるフレキシブル基板について、屈曲部と固定部でCu配線に違いがあるかEBSDによる確認を行いました。

フレキシブル基板外観とCu配線光学像

フレキシブル基板外観

フレキシブル基盤外観

屈曲部の配線

屈曲部の配線

固定部の配線

固定部の配線

光学像では屈曲部の配線に微小なクラックらしき形状が見られますが、その他に顕著な異常は認められませんでした。

EBSDによる屈曲部と固定部のCu配線比較

屈曲部の配線
固定部

光学像では屈曲部と固定部の配線に顕著な異常や差異は確認できませんが、EBSD解析では、屈曲部の配線に歪みが蓄積している個所や、小傾角粒界が集中している個所が存在していることが分かります。

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The post フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（鉄板） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-iron_plate.html Tue, 05 Oct 2021 03:00:21 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30892 鉄板(Fe)について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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鉄板（Fe）について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

SEM観察/EDXによる元素分析

反電子像
グラフ
半定量結果
半定量結果

EBSD解析

EBSDにて結晶構造を観察

IPF map
配向性

EBSD法により結晶サイズの分布や、結晶方位の配向性を確認することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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The post EBSDによる解析例（鉄板） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（高融点はんだ） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-solder.html Tue, 05 Oct 2021 03:00:14 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30869 高融点はんだ(Snを少量含むPb基はんだ)について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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高融点はんだ（Snを少量含むPb基はんだ）について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

SEM観察/EDXによる元素分析

EBSD解析

EBSDにて結晶構造を観察

Sn_IPF map
Sn_結晶粒分布
Pb_IPF map
Pb_結晶粒分布

EBSD法により結晶粒分布や、残留応力を推測することができます。
また、結晶構造が異なる金属については同時に解析できるものがあり、それぞれの金属で各データの取得が可能です。

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The post EBSDによる解析例（高融点はんだ） first appeared on 株式会社アイテス.]]> 不具合の原因を化学の視点で解決します。 https://www.ites.co.jp/chemistry/index/component_analysis/chemical-bug_solution.html Mon, 04 Oct 2021 04:30:07 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=chemistry&p=31379 クラック、変色、剥離、変形、物性強度低下など、製品、部材などに発生する不具合は様々です。その多くは、製品を構成する材料に原因がある場合が多く、その材料を分析調査することで解決することがあります。何が起きているのかを化学、および反応機構でアプローチする方法をご紹介します。...

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クラック、変色、剥離、変形、物性強度低下など、製品、部材などに発生する不具合は様々です。
その多くは、製品を構成する材料に原因がある場合が多く、その材料を分析調査することで解決することがあります。何が起きているのかを化学、および反応機構でアプローチする方法をご紹介します。

クラック（割れ）、剥離

打痕、応力、溶剤の接触、汚染などで材料に割れ、剥離が生じることがあります。プラスチックは特にこういった負荷には弱いものが多く、同じ製造プロセスであっても、少しの条件の違いで特性が低下します。また経年劣化でも特性低下を招きます。

  • 分子量の低下
  • 伸び特性の限界（降伏点）
  • 膨潤
  • 汚染
  • 極性基皆無（水酸基など）
割れ

変色、変形

応力、紫外線、熱、薬品との接触などで変色、変形することがあります。

  • 樹脂ネッキング
  • 結合開裂
  • 熱/光劣化
  • 錆
  • 変質
  • 構成元素の欠損
変色・変形

化学反応機構（エポキシ樹脂硬化例）

化学反応機構とは、化学反応を電子の動きで把握することで、より深くその変化を理解することが可能となります。以下にエポキシ樹脂の硬化機構を示します。

一級アミン
三級アミン
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The post 不具合の原因を化学の視点で解決します。 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（パイプ） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-pipe.html Tue, 28 Sep 2021 03:00:58 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30796 パイプ(γ鉄(オーステナイト))について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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パイプ(γ鉄(オーステナイト))について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

SEMによる観察/EDXによる元素分析/EBSDによる解析

パイプ外観
パイプ断面　反射電子像
IPF map
Austenite
Grain size high light
Grain size
KAM map
Color Coded Map Tyep KAM

EBSD法により結晶サイズの分布を確認することや、配向性を確認することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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The post EBSDによる解析例（パイプ） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（ビア） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-cu.html Tue, 28 Sep 2021 03:00:28 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30819 積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

SEM観察

反射電子像
反射電子像　拡大

EBSD解析

EBSDにて結晶構造を観察

IPF map
結晶粒分布 map
結晶粒分布
Grain Size

EBSD法により結晶サイズの分布や、残留応力を推測することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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The post EBSDによる解析例（ビア） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（ネジ） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-screw.html Tue, 14 Sep 2021 03:00:25 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30776 ネジ(Cu2Zn)について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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ネジ(Cu2Zn)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

光学顕微鏡による観察/EDXによる元素分析

EBSDによる解析

EBSDにて結晶構造を観察

IPF map
結晶粒径ごとにhigh light

※表面は使用によるダメージがあり菊池線が検出されなかったため欠損データ有。

EBSD法により結晶サイズの分布や、結晶方位の配向性を確認することができます。

今回はネジの谷部分の方位差が大きいことがわかり、残留応力が大きいことが推測されます。また、ネジ表面には粒径の小さい結晶粒が分布している様子も観察されました。

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The post EBSDによる解析例（ネジ） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（セラミック） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-ceramic.html Tue, 14 Sep 2021 03:00:23 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30759 セラミック(Al2O3)について、EBSDによる解析例を紹介致します。...

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セラミック（Al2O3）について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

観察/元素分析

SEMによる観察とEDXによる元素分析
map
EDXによる元素分析からAl2O3と判断され、マップより Si が点在している様子が観察される。

EBSDによる解析

EBSDにて結晶構造を観察

IPF map
Color coded map type IPF
KAM map

EBSD法により結晶サイズの分布や配向性を確認することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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The post EBSDによる解析例（セラミック） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（シリコンウエハ） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-si-wafer.html Fri, 10 Sep 2021 01:24:32 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30149 EBSDの事例として、シリコンウエハを示します。測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。...

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EBSDの事例として、シリコンウエハを示します。
測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。

IPFマップ

ウエハから小片を切り出し、中央50×50 μm の領域にてIPFマップを取得しました。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶であることが確認できます。

IPF-map
ウエハ小片の配置

極点図

つづいて極点図の確認を行いました。001極点図を見ると、A3（測定面）を示す中心付近が強くなっていることから、 シリコンウエハの{001}面は測定面の方向を向いていることが確認できます。

極点図

逆極点図

逆極点図

逆極点図の確認も行いました。A3（測定面）の逆極点図を見ると001付近が強くなっていることから、測定面は{001}面の方向を向いていることが確認できます。

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The post EBSDによる解析例（シリコンウエハ） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（カニカン） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-kanikan.html Fri, 10 Sep 2021 01:23:06 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30129 長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介致します。...

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長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介いたします。

破断部の観察

カニカン
破断面
破断部　断面

EDXによる元素分析

主に、Pb（鉛）とSb（アンチモン）を検出。
SE
Pb
Sb

マッピング分析の結果、Pb結晶の粒界にSbの分布が見られます。

EBSDによる解析

EBSD法により結晶粒の配向性や方位差を確認することができます。

EBSD
IPF map(Lead)
GROD map(Lead)
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The post EBSDによる解析例（カニカン） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（ウィスカ） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-whisker.html Thu, 09 Sep 2021 02:45:34 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30088 ICパッケージのリード端子に発生したウィスカについて、機械研磨にて断面を作製し、SEM観察及びEBSD解析した事例を紹介します。...

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ICパッケージのリード端子に発生したウィスカについて、機械研磨にて断面を作製し、SEM観察及びEBSD解析した事例を紹介いたします。

観察/断面作製

ICパッケージと表面SEM像

EBSDによる解析

IPF MAP
GROD-MAP

EBSD法により測定された結晶粒と結晶粒界が一致していることがわかります。

EBSD法によりウィスカの結晶は根元から先まで単結晶で成長していることがわかります。またGRODマップより、屈曲部に応力が溜っていることがわかります（矢印部）。

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The post EBSDによる解析例（ウィスカ） first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDによる解析例（Chip） https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-chip.html Thu, 09 Sep 2021 02:44:12 +0000 https://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=30059 Chip表面の配線(Al)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。...

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Chip表面の配線(Al)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

1.樹脂開封

AIパターンの解析を実施

2.EBSD解析

結晶粒分布
IPF-map
極点図
001
110
111

Al配線に配向性が見られました。極点図A3(ND)方向に(111)面の法線方位が分布しており、以下の様な結晶が多く存在していると考えられます。

イメージ図
イメージ図
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The post EBSDによる解析例（Chip） first appeared on 株式会社アイテス.]]> ウィスカ評価 https://www.ites.co.jp/guarantee/index/evaluation/whisker_rating.html Fri, 11 Sep 2020 06:00:22 +0000 http://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=19151 鉛フリー半田が普及する一方、Snメッキあるいは半田付け部から発生する金属結晶のウィスカは電子部品の信頼性に大きな影響を与えます。
弊社では、信頼性試験から解析まで一貫したウィスカ評価が可能です。...

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鉛フリーはんだが普及する一方、Snめっきあるいははんだ付け部から発生する金属結晶のウィスカは電子部品の信頼性に大きな影響を与えます。
弊社では、信頼性試験から解析まで一貫したウィスカ評価が可能です。

ウィスカ評価

信頼性試験後に実装基板の外観観察を行い、ウィスカ有無の判定を行います。

基板中のどの部品、どのピンにウィスカが発生しているか検査員が逃さず観察します！

ウィスカ　外観観察

外観観察でウィスカが検出されたらデジタルマイクロスコープで観察・測長を行います。

マイクロスコープによるウィスカ検出

マイクロスコープによるウィスカ検出

より詳細に観察、分析を行いたい場合は、表面SEM / EDX分析を行います。

ウィスカの表面SEM像
部材　錫メッキのEDX
ウィスカ部EDX

分析結果より、部材由来のメッキ (Sn) ウィスカと判明     

必要に応じて、断面観察（SEM）や結晶方位解析（EBSD）などの観察、解析も可能です。

ウィスカの断面SEM像
ウィスカのEBSD解析
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The post ウィスカ評価 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSD法によるGaN/SiC、Sapphire基板界面の歪解析 https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/ebsd-gan.html Thu, 19 Apr 2018 06:19:42 +0000 http://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=20217 EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法を用いた、受託分析の一例です。青色LEDのGaNとSiC、Sapphire基板界面に発生する歪の可視化を試してみました。...

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EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法を用いて、青色LEDのGaNとSiC、Sapphire基板界面に発生する歪の可視化を試してみました。

SEM-EBSD法

　EBSDパターン(菊池パターン)　　　(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

  • SEM-EBSD法は、SEM内で結晶性のある試料を傾斜し電子線を照射することで得られる反射電子回折パターンから個々の結晶の方位情報を取得しマップ化します。

さらに定量的、統計的なデータとして結晶方位(配向性)のみならず、結晶粒分布や応力歪等の材料組織状態を調べる手法です。

EBSDによるGaN / SiC、Sapphire 歪解析

  • GaN系LEDは、SapphireやSiCを基板として使用しているものが多く、表1に示す様に格子定数や熱膨張係数の差によって基板との界面に応力が発生することが知られています。

  • 各基板材料におけるGaN界面の歪の様子をGRODマップを用いて可視化を試みました。   　　　　　　　 GROD(Grain Reference Orientation Deviation) マップは一つの結晶粒内において、結晶粒の平均方位を基準とし、そこからの方位差を示したものです。

  • 試料加工は加工の影響を可能な限り減らすため、トリプルイオンミリング装置を使って断面作製しました。

  • GRODマップより、何れの基板界面付近においても僅かながら方位差を示す分布が見られ、ラインプロファイルの結果からGaN on Sapphireのほうが若干歪は大きくなっています。(方位差の誤差は0.5°程度あり、値は検出下限付近での測定。　)

  • TEM像からもGaN on Sapphireのほうが欠陥密度が大きく、界面の歪も大きいものと考えられます。　　　　　　　　　　　　　

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The post EBSD法によるGaN/SiC、Sapphire基板界面の歪解析 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSD法の紹介 https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/ebsd-info.html Tue, 14 Nov 2017 06:27:00 +0000 http://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=19213 EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法についての説明です。...

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EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法

試料の持つ結晶構造の情報を基に連続的に取り込んだパターンの結晶方位を算出することにより、結晶粒の方位分布、集合組織や結晶相分布を解析する手法です。

装置構成

(株)TSLソリューションズ OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

右図がEBSD装置の構成です。SEMにCCDカメラが付加された構造になっています。傾斜した試料に電子線を照射すると、電子線が散乱します。この電子線が散乱する際に、結晶方位に応じたパターンが現れます。このパターンをCCDで検出し、解析することで、結晶系や結晶方位に関する情報を得ることが出来ます。

結晶方位について

金属やセラミック等の結晶質のものは、

立方体等の結晶格子が多数集まって構成されていると考えられます。

EBSDではそれがどの方向を向いているか(結晶方位)を解析します。

 

Al板の断面を機械研磨にて作製し、EBSDによる解析を実施しました。

左図のように、結晶粒により結晶方位が異なることが観察されます。

加工条件(圧延、押出等)の違いによる結晶方位や結晶粒径の変化が解析可能です。

マップ例

イメージクォリティー(IQ値)マップ

結晶性の良し悪しを記すマップ。

EBSDパターンをHough変換(直線を点に変換する手法)した際のHough空間上のバンドを示すピークの強度をプロットしたもの。バンドが鮮明なほどパターンの発生領域の結晶性が良い。

逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure：IPFマップ)

逆極点図を基にした結晶方位マップで、結晶面で定義されている。

各点の任意の方向(右図はND方向)と垂直になっている結晶面の面指数を求め、カラーキーにしたがって表示したもの。

結晶方位マップ(Crystal Direction マップ)

指定した試料方向に向いている指定した結晶方位の分布状況を示すマップで、結晶方位で定義されている。

右記は試料のND方向に<101>結晶方位が25°以内で配向している測定点を黒色にグラディエーションを付けて示した。

GRODマップ

(Grain Reference Orientation Deviation マップ)

一つの結晶粒内で、基準となる方位からどれだけ方位に差が生じているかを示すマップ。

結晶方位差を観察することで、結晶内の残留応力を推察することができる。

極点図・逆極点図

極点図

特定の結晶面(等価なすべての面を含む)に注目し、それらの面と試料座標系との関係を示したもの。極点図より、特定の結晶面が試料のどの方向を向いているかがわかる。

 

右図のように、試料に沿った座標系(試料座標系)を定義し、その座標系に対して注目した結晶面の法線方位(面方位)がどのようになっているかをステレオ投影法でプロットしたもの。

逆極点図

試料座標系の特定の方向に注目し、どの結晶面の法線方位がその方向に向いているかを示したもの。試料全体の配向性を把握するのに適した表示方法。

 

試料の指定方向を法線とする結晶面と等価な結晶面を、ステレオ投影図のUnit Triangleにプロットしたもの。

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The post EBSD法の紹介 first appeared on 株式会社アイテス.]]> 金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例 https://www.ites.co.jp/analyze/gold-wire-bond.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例

逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure：IPFマップ)

逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure：IPFマップ)
逆極点図を基にした結晶方位マップ

上図では結晶方位はランダムな配向となっています。

Grain Reference Orientation Deviation：GRODマップ 粒内での結晶方位差によるマップ

Grain Reference Orientation Deviation：GRODマップ
粒内での結晶方位差によるマップ

結晶方位差を観察することで、結晶内の残留応力を推察することができます。

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株式会社アイテス　品質技術部
TEL:077-599-5020
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The post 金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSDパターン(菊池パターン) https://www.ites.co.jp/analyze/ebsd-pattern.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3/ebsd-pattern.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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EBSDパターン(菊池パターン)

EBSDパターン(菊池パターン)

SEM中で試料を大きく傾斜し電子線を照射したとき、試料が結晶性のものであれば、試料内で電子線回折が生じます。
左記のように生じたEBSD(菊池)パターンを指数付けすることで、その点の結晶方位を求めることが可能となります。

(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

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The post EBSDパターン(菊池パターン) first appeared on 株式会社アイテス.]]> Cu板における圧縮前後での変化観察 https://www.ites.co.jp/analyze/cu-board.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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Cu板における圧縮前後での変化観察

IQマップ・GRODマップ
Axis 3方向から見たIPF (Inverse Pole Figure)マップ

(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

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The post Cu板における圧縮前後での変化観察 first appeared on 株式会社アイテス.]]> BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例 https://www.ites.co.jp/analyze/bga.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例

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The post BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例 first appeared on 株式会社アイテス.]]> はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例 https://www.ites.co.jp/analyze/solder-joint.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3-2.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例

EBSD法による結晶解析

※Cu6Sn5の解析例

Cuパッド-はんだ界面にCu6Sn5、Ag4Snの化合物が成長しています。

ヒストグラムにより結晶サイズや結晶傾角の分布を示すことができます。

また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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The post はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例 first appeared on 株式会社アイテス.]]> アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例 https://www.ites.co.jp/analyze/al-welds.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 https://www.ites.co.jp/section/index/%e8%a6%b3%e5%af%9f%e6%8a%80%e8%a1%93/ebsd-3.html EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例

EBSDの事例として、アルミの溶接断面を断面方向から分析を行いました。
溶接部と母材部で結晶粒サイズ等を比較することができます。

結晶粒の可視化

アルミケースにアルミ板をスポット溶接したサンプルについて、溶接部の断面を作製し、EBSD分析を行いました。母材部に比べ、溶接部は結晶粒の形状や大きさが異なることが分かります。

スポット溶接個所
サンプル
IPFマップ

結晶粒サイズの分布

結晶粒サイズの分布を示します。母材部に比べ、溶接部は大きな結晶粒が多く分布していることが確認できます。

結晶粒サイズ　位置A
結晶粒サイズ　位置Ｃ
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The post アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例 first appeared on 株式会社アイテス.]]> EBSD法による解析例 https://www.ites.co.jp/section/index/bservation_technologies/ebsd.html Wed, 22 Mar 2017 01:02:11 +0000 http://www.ites.co.jp/?post_type=section&p=17520 EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、材料組織状態を調べる受託分析です。
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EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、個々の結晶の方位情報を取得しマップ化したもので、さらに定量的、統計的なデータとして結晶方位(配向性)のみならず、結晶粒分布や応力歪等の材料組織状態を調べる手法です。

EBSDパターン

EBSD（菊池）パターンを指数付けすることで、その点の結晶方位を求めることが可能となります。
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金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例

結晶方位差を観察することで、結晶内の残留応力を推察することができます。
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Cu板における圧縮前後での変化観察

Cu板をIQマップ・GRODマップ・IPFマップで観察しました。
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BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例

BGAの結晶状態や残留応力を解析しました。
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はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例

はんだ界面にCi6Sn5、Ag4Snの化合物が成長していることが分かりました。
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アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例

スポット溶接したサンプルの溶接部の断面を作製し、EBSD分析を行いました。
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Chip

Chip表面の配線(Al)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。パッケージ樹脂を薬液/RIEにより開封して実施しました。
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ウィスカ

ICパッケージのリード端子に発生したウィスカについて、SEM観察及びEBSD解析した事例を紹介します。
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カニカン

長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介致します。
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シリコンウエハ

単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。
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セラミック

セラミック(Al2O3)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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ネジ

ネジ(Cu2Zn)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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パイプ

パイプ(γ鉄(オーステナイト))について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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ビア

積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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高融点はんだ

高融点はんだ(Snを少量含むPb基はんだ)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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鉄板

鉄板(Fe)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
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フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析

屈曲部と固定部でCu配線に違いがあるかEBSDによる確認を行いました。
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黄銅材の比較

似たような元素組成の黄銅材。EBSDにより差異を可視化した事例を紹介致します。
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EBSD(電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、個々の結晶の方位情報を取得しマップ化したもので、さらに定量的、統計的なデータとして結晶方位(配向性)のみならず、結晶粒分布や応力歪等の材料組織状態を調べる手法です。

EBSDパターン(菊池パターン)

EBSDパターン(菊池パターン)

SEM中で試料を大きく傾斜し電子線を照射したとき、試料が結晶性のものであれば、試料内で電子線回折が生じます。
左記のように生じたEBSD(菊池)パターンを指数付けすることで、その点の結晶方位を求めることが可能となります。

(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

金ワイヤーボンド接合部 断面観察/解析 例

逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure：IPFマップ)

逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure：IPFマップ)
逆極点図を基にした結晶方位マップ

上図では結晶方位はランダムな配向となっています。

Grain Reference Orientation Deviation：GRODマップ 粒内での結晶方位差によるマップ

Grain Reference Orientation Deviation：GRODマップ
粒内での結晶方位差によるマップ

結晶方位差を観察することで、結晶内の残留応力を推察することができます。

Cu板における圧縮前後での変化観察

IQマップ・GRODマップ
Axis 3方向から見たIPF (Inverse Pole Figure)マップ

(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

BGA（Ball Grid Array）の結晶解析例

はんだ接合部における金属間化合物の結晶解析例

EBSD法による結晶解析

※Cu6Sn5の解析例

Cuパッド-はんだ界面にCu6Sn5、Ag4Snの化合物が成長しています。

ヒストグラムにより結晶サイズや結晶傾角の分布を示すことができます。

また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

アルミ溶接部（スポット溶接）の結晶解析例

EBSDの事例として、アルミの溶接断面を断面方向から分析を行いました。
溶接部と母材部で結晶粒サイズ等を比較することができます。

結晶粒の可視化

アルミケースにアルミ板をスポット溶接したサンプルについて、溶接部の断面を作製し、EBSD分析を行いました。母材部に比べ、溶接部は結晶粒の形状や大きさが異なることが分かります。

スポット溶接個所
サンプル
IPFマップ

結晶粒サイズの分布

結晶粒サイズの分布を示します。母材部に比べ、溶接部は大きな結晶粒が多く分布していることが確認できます。

結晶粒サイズ　位置A
結晶粒サイズ　位置Ｃ
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