卓上型SEM(電子顕微鏡)

卓上型SEM(電子顕微鏡)

SEM観察が一般化されて半世紀。あらゆる分野にてSEM観察は重要な観察手段となっています。
卓上型SEMの“帯電軽減モード”なら、 FE-SEMでは観察できない試料も観察、分析が可能かもしれません。
半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野でも活用できます。

日立ハイテク社製 TM3030Plus

SEMの原理は電子を試料にあて、試料からでてくる2次電子、反射電子を像としています。
FE-SEM観察では高真空下で観察する必要があり、水分や油など揮発成分が出る試料は真空度が低くなるため、観察が出来ない場合があります。

卓上型SEMでは、低真空下での観察が可能なモード(帯電軽減)があるため、揮発成分がでる試料の観察や元素分析が可能です。

日立ハイテク社製 TM3030Plus
TM3030Plus 装置スペック

半導体、電子部品などの導電性のある試料は主に通常/導電体モードでSEM観察がお勧め。

セラミックコンデンサ

元素分析は導電体/分析モードがお勧め。

プラスチック、紙、ゴム、セラミックスなど導電性のない試料や水分・油分を含む生物、植物、食品、化粧品などの観察は表面・通常/帯電防止モードでのSEM観察がお勧め。

元素分析は帯電防止/分析モードがお勧め。

スペクトル分析・マッピング分析・ライン分析

卓上型SEM(電子顕微鏡)によるネオジム磁石の断面観察

ネオジム磁石など磁性を帯びた試料は、着磁状態でSEM観察はできませんが、脱磁処理を施すことで、SEM観察や元素分析を行うことが出来ます。

ネオジム磁石の脱磁とSEMによる断面観察(日立ハイテク社製TM3030Plus)

脱磁処理 (磁石は、着磁状態でのSEM観察が不可能なため、脱磁を実施)

ネオジム磁石

ハードディスク内部で使用されていたネオジム磁石を脱磁処理し、断面観察。

ネオジム磁石の処理前、処理後

断面観察

断面観察

EDXによる元素分析

EDXによる元素分析

卓上型SEM(電子顕微鏡)によるクラック観察

製品の信頼性評価において、クラックの断面観察は欠かせません。
光学顕微鏡観察では見落とす可能性がある微小なクラックもSEM観察では明確に確認することが可能です。
しかも卓上SEMなら、 導電処理が不要で、すばやく詳細な観察が出来ます。

チップセラミックコンデンサの金属顕微鏡観察

金属顕微鏡観察

チップセラミックコンデンサの卓上SEM観察 (日立ハイテク社製TM3030Plus)

SEM観察

蒸着不要!

簡易的に結晶粒が見える !

微細なクラックが見えやすい !

クラック
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TEL:077-599-5020