形状測定レーザマイクロスコープ(VK-X200)

形状測定レーザマイクロスコープ(VK-X200)を用いた受託分析です。
408nmレーザーを用いて観察、計測を行います。測定結果は国家基準につながるトレーザビリティ体系に基づいており、測定機器として非破壊測定に活用できます。

高精度3D測定&カラー観察例

装置:KEYENCE VK-X200

レーザー顕微鏡では、試料表面の凹凸形状の3D測定が可能です。
また、透明体の膜厚形状や透明体越しの表面形状測定が可能です。

レーザー顕微鏡 透明レジスト表面の形状観察と断面形状表示

(上) 透明レジスト表面の形状観察
(下) 断面形状表示

レーザー顕微鏡 成型樹脂とその上のクリアコート層の同時観察と断面形状表示

(上) 成型樹脂とその上のクリアコート層の同時観察
(下)断面形状表示

応用例

機能詳細説明観察対象評価パラメータ
外観・光沢 光の反射、散乱、ぎらつき、
 高級感、鮮映性
 メッキ面、鏡面、鋼板 Rq、Ra、Rku
肌ざわり手触り シート、梨地面、
 シボ面評価
 Rz、Rq、R⊿q、Rpc
密着性・接着性 パッケージ、接着剤にとっての
 最適形状表面
 プリント基板、接着面、
 メッキ下地
 Rzjis、Rz、R⊿q、Rir
印刷品位 紙のキメとインクの乗り 印刷用紙 Ra、Rv、Rvk、Rpc

レーザー顕微鏡観察&測定

レーザー顕微鏡は、平面計測、幅測定、高さ測定、膜厚測定等の各種測定が可能です。
対象のサイズや求める精度により、適した対物レンズを選択し、観察や測定を行います。
範囲はレンズに応じて異なりますが、連結機能を有しているため、広範囲での観察、計測も可能です。

金パッド部の観察、計測

レーザー顕微鏡 観察例 金pad

 線粗さ計測

  高さ像

  3D像

レーザー顕微鏡 線粗さ計測 高さ像
レーザー顕微鏡 線粗さ計測 3D像
レーザー顕微鏡 線粗さ計測
レーザー顕微鏡 線粗さ計測

 面粗さ計測

面粗さ計測
レーザー顕微鏡 面粗さ計測 表

 レーザー像

20倍対物レンズ視野 レーザー像
50倍対物レンズ視野 レーザー像
150倍対物レンズ視野 レーザー像
対物レンズ倍率10 x20 x50 x150 x
観察測定範囲(横):μm135067527090
観察測定範囲(縦):μm101250620267
高さ測定測定範囲7 mm
表示分解能0.0005 μm
幅測定表示分解能0.001 μm