IGZO TFTの電気特性測定及び断面TEM構造解析

液晶画面のアレイに使用されている IGZO TFTの受託分析です。
電気特性の測定から、断面TEM観察及びEDS元素分析による構造解析を、一貫して行っておりますのでご紹介いたします。

解体及びTFT電気特性の測定

IGZOスマートフォン外観
IGZOスマートフォン外観
解体、ディスプレイ取り出し
解体、ディスプレイ取り出し
ディスプレイ開封、液晶除去
ディスプレイ開封、液晶除去

IGZO TFT 表面光学像及び断面TEM観察箇所

IGZO TFT 電気特性測定結果

IGZO TFT 断面TEM観察及びEDS分析

IGZO TFT 断面TEM観察結果チャネル部のEDSスペクトル

作製した断面からEDSによる元素分析及び元素マップ等が行える。

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株式会社アイテス 品質技術部
TEL:077-599-5020