エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)は電子顕微鏡(SEMやTEM)に取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し試料や異物の元素情報を得る手法です。微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析手法です。
分析原理
物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成されます。この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることができます。
このエネルギーは元素により異なるため、物質の元素情報を調べることができます。
EDSによる分析(例：Cuパッドの接合界面)
金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析
各特性X線の強度(カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出することができます。
金属間化合物等は算出された濃度比により、形成された化合物を推定することが可能です。
分析点
P2のスペクトルデータ
分析点の半定量結果
P1、p2のCuとSnの割合から、形成された化合物が推測できます。
線分析
SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルすることができるため、分析箇所の元素濃度変化を確認することができます。また、多層状の試料の分析の際にも有効な場合があります。
面分析
各元素の分布を2次元的に見ることができ、複数の元素を重ね合わせた画像を表示することも可能です。
アイテスでは蓄積されたノウハウにより適切な分析モードをご提案いたします。
ご相談等ございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。
分析条件等の知見は「SEM/EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度」、「EDX分析時の加速電圧の違いによる変化」の資料にて紹介しております。