エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。
装置仕様・性能
日本電子（株）製 Jeol-8200
分析方式
：波長分散型Ｘ線分析（WDX）
分析可能元素
：Ｂ～Ｕ
エネルギー分解能
：20 eV（EDXは約130 eV）
検出限界
：0.01 ％～
最大試料寸法
：100 ｘ 100ｍｍ
分析例：１st Bond部分析（微小領域、微量成分の検出）
パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生していました。
腐食原因物質の特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。