EPMAによる微量元素の検出 エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。 装置仕様・性能 日本電子(株)製 Jeol-8200 分析方式 :波長分散型X線分析(WDX) 分析可能元素 :B~U エネルギー分解能 :20 eV(EDXは約130 eV) 検出限界 :0.01 %~ 最大試料寸法 :100 x 100mm 分析例:1st Bond部分析(微小領域、微量成分の検出) パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生していました。腐食原因物質の特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。 お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから