機械研磨及び機械研磨＋イオンミリング処理による試料加工について紹介いたします。
機械研磨は最も一般的で歴史の長い断面作製手法であり、広範囲で断面を作製することができます。
また、イオンミリング処理と組み合わせることでCP加工面と同程度の観察面を作製することも可能です。
機械研磨による広観察範囲の例(レーザーポインター)
機械研磨では広範囲の加工及び観察が可能です。
10cm前後の大きさの試料も機械研磨では断面作製が可能で、金属顕微鏡やSEMによる観察、またSEM/EDXによる元素分析も行えます。
機械研磨によるスライス断面からの3D構築の例(Cuマイグレーション)
機械研磨と撮影を繰り返すことで、奥行方向に連続した写真を取得し、それらをソフトで構築することで3次元的に観察することができます。X線CTでは観察が難しい試料や、FIBスライス断面では観察視野が狭い時などに有効です。また、光学顕微鏡写真を使用するため、X線CTとは異なり色情報のある3次元の観察が可能になります。
構築した3D像を元に任意の箇所での観察が可能です。
機械研磨＋イオンミリング処理による結晶粒観察の例
機械研磨後、イオンミリングによる処理を施しているため試料表面に凹凸が生じますが、試料によってはCPによる加工試料と同程度の観察が可能です。
以下に結晶粒の観察例として、金属(CuZn)の断面加工例を示します。
アイテスでは蓄積されたノウハウにより適切な加工、観察手法や組み合わせをご提案いたします。
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