FIB(集束イオンビーム装置)を使用したTEM試料作製

リフトアウト法

特徴

・通常の手法と比べ短時間(約1/2)で試料作製が可能
・近接する個所でも試料作製可能
・試料の前処理に水を使わない(ダイシングソー、機械研磨不要)

リフトアウト法を用いた試料作成の概要

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