EELS分析とEDS分析はTEM試料に加速した電子を照射することで元素同定を行う分析手法です。
EELS分析とEDS分析の違い、分析事例をご紹介します。
EELS分析とEDS分析との比較
EELS
EDS
分析に使用する
パラメータ
エネルギー損失電子
特性X線
エネルギー分解能
1eV以下
100eV前後
長所
状態分析
軽元素分析（Li,B）
全元素についての分析
短所
広範囲の元素を
同時分析が困難
近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難
測定時間
5s
30s
TEM試料厚
約50nm以下
約300nm以下
EELS分析事例：異なるカーボン膜
状態分析が特徴であるEELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行う。
2種類の組成図
EDS分析
スペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。
EELS分析
2つのSpectrumのショルダー形状が違うことから有機膜に配合されているN,OとCの結合状態を比較することが可能。
ＥＥＬＳ分析により物質の結合状態の比較が可能となります。
EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで元素同定を行う分析手法です。
EELS分析とEDS分析の違いをご紹介します。
EELS分析とEDS分析との比較
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EELS分析事例：異なるカーボン膜
状態分析が特徴であるEELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行う。
EELS分析により物質の結合状態の比較が可能となります。