EPMA分析 エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。 装置仕様・性能 日本電子(株)製 Jeol-8200 分析方式 :波長分散型X線分析(WDX) 分析可能元素 :B~U エネルギー分解能 :20 eV(EDXは約130 eV) 検出限界 :0.01 %~ 最大試料寸法 :100 x 100mm 分析例:酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析 SEM-EDXに比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好です。微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。 EDXマップ EPMAマップ InとKが分離され、さらにSnの存在が確認された 酸化インジウム・スズ薄膜上に付着したこの異物は、EDXではCl含有物とまでしか分かりません。EPMAではInとKのピークが分離でき、明確に下地のInと分離できることから異物はKClであると判別できます。 ステージ可動により広範囲のマッピングが可能 100 x 100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能です。 Φ15mm アルミ台 広域マップ分析 ステージスキャン お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから