エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。
装置仕様・性能
日本電子（株）製 Jeol-8200
分析方式
：波長分散型Ｘ線分析（WDX）
分析可能元素
：Ｂ～Ｕ
エネルギー分解能
：20 eV（EDXは約130 eV）
検出限界
：0.01 ％～
最大試料寸法
：100 ｘ 100ｍｍ
分析例：酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析
SEM-EDXに比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好です。
微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。
EDXマップ
EPMAマップ
InとKが分離され、さらにSnの存在が確認された
酸化インジウム・スズ薄膜上に付着したこの異物は、EDXではCl含有物とまでしか分かりません。
EPMAではInとKのピークが分離でき、明確に下地のInと分離できることから異物はKClであると判別できます。
ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
100 ｘ 100ｍｍサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能です。
Φ15mm アルミ台
広域マップ分析
ステージスキャン