≡

アイテス

submenu_k_wafer

ウェハー加工実績

『お客様の“時間”を大切にします』

現在、世の中でもっとも価値のあるものは“時間”です。　私たちは日々の仕事において自らの“時間”を切り売りし、またあらゆる技術革新は“時間の短縮”を目的としています。アイテスのウェハーサービスは最初の応答からお見積り回答、調達加工納期、納入時の物流に至るまで1秒でも早く対応することを常に心がけています。

実績例

８インチ加工内容一覧

	膜種	装置	膜厚(Å)	膜厚公差	均一性	備考欄
熱酸化	熱酸化膜（V/F）	拡散炉	500 – 5000	±10%以内	5%以内	150枚バッチ式処理
熱酸化	熱酸化膜（RTO）	拡散炉	18 – 200	±10%以内	5%以内	両面成膜
ポリシリコン	LP-POLY	減圧CVD	1000 – 5000	±10%以内	5%以内	Non-doped Poly-Si
絶縁膜	LP-SIN		700 – 2000	±10%以内	5%以内	両面成膜
	LP-TEOS		3000 – 10000	±10%以内	5%以内	アニールで収縮
	P-SIN	プラズマCVD	500 – 10000	±10%	10%以内	プラズマナイトライド
	P-TEOS		500 – 30000	±10%以内	5%以内	プラズマTEOS
	P-SiO2		500 – 10000	±10%以内	10%以内	SiH4-Oxide(モノシラン）
	O3-TEOS		340 – 4000	±10%以内	10%以内	オゾンTEOS
	HDP		2000 – 10000	±10%以内	10%以内	High-Density Plasma CVD 酸化膜
	P-SION		200 – 1000	±10%以内	10%以内	反射防止膜
メタル膜	AL-CU	スパッタリング装置	1000 – 10000	±10%以内	10%以内	Cu 0.5%　　下地不要
	Ti		100 – 3000	±10%以内	10%以内	密着膜
	TiN		140 – 500	±10%以内	10%以内	厚膜不可
	W（SPUTTER）		500 – 1000	±10%以内	15%以内	下地不要
	W（CVD）	W-CVD	3500 – 9000	±10%以内	10%以内	下地にTiNが必要
レジスト膜	RESIST	スピンコータ―	5000 – 68000	±10%以内	5%以内	I 線/　Krf

エッチング	Wet Etch	MUV				等方性
	Dry Etch	MUV/DUV	0.25um			異方性
	Deep RIE	MUV	AR40			ボッシュ式

	膜種	装置
熱酸化	熱酸化膜（V/F）	拡散炉
熱酸化	熱酸化膜（RTO）	拡散炉
ポリシリコン	LP-POLY	減圧CVD
絶縁膜	LP-SIN
	LP-TEOS
	P-SIN	プラズマCVD
	P-TEOS
	P-SiO2
	O3-TEOS
	HDP
	P-SION
メタル膜	AL-CU	スパッタリング装置
	Ti
	TiN
	W（SPUTTER）
	W（CVD）	W-CVD
レジスト膜	RESIST	スピンコータ―

エッチング	Wet Etch	MUV
	Dry Etch	MUV/DUV
	Deep RIE	MUV

シリコンダミーウェハー　標準規格品一覧

サイズ	直径（mm）	導電型	面方位	厚み（μm）	抵抗率（Ω・cm）	ノッチ（方位）/OF（mm）	表面	裏面	パーティクル
2	50±0.5	P	100	280±25	1～100	17.5±2.5	鏡面	エッチド	0.3um≦10個
3	76±0.5	P	100	380±25	1～100	22.0±2.5	鏡面	エッチド	0.3um≦10個
4	100±0.5	P	100	525±25	1～100	32.5±2.5	鏡面	エッチド	0.3um≦10個
5	125±0.5	P	100	625±25	1～100	42.5±2.5	鏡面	エッチド	0.2um≦30個
6	150±0.5	P	100	625±25	1～100	47.5±2.5	鏡面	エッチド	0.2um≦30個
8	200±0.5	P	100	725±25	1～100	110	鏡面	エッチド	0.2um≦30個
12	300±0.2	P	100	775±25	1～100	110	鏡面	鏡面	0.2um≦50個

サイズ	直径（mm）	導電型	面方位	厚み（μm）
2	50±0.5	P	100	280±25
3	76±0.5	P	100	380±25
4	100±0.5	P	100	525±25
5	125±0.5	P	100	625±25
6	150±0.5	P	100	625±25
8	200±0.5	P	100	725±25
12	300±0.2	P	100	775±25

SOI / SiC / GaAs / GaN / サファイアウェハー　の少量販売

BG加工　/　ダイシング加工　/　サイズダウン加工

アイテス各サービスについてのお問い合わせ

分析解析・信頼性評価（品質技術営業）TEL：077-599-5020　TEL：077-599-5020　パネル検査装置（製品開発営業）TEL：077-599-5040　TEL：077-599-5040　電子機器修理（テクニカルサポートセンター）TEL：077-599-5031　TEL：077-599-5031　

ウェハー加工サービスTEL：077-599-5017　TEL：077-599-5017　採用について（総務）TEL：077-599-5015　TEL：077-599-5015　全体のお問い合わせTEL：077-599-5015　TEL：077-599-5015　