酸化物やケイ酸塩の化学結合状態（イオン価、結晶構造、配位数）の異なりから、特性Ｘ線ピーク波長に変化（シフトや波形）が生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。
装置仕様・性能
日本電子（株）製 Jeol-8200
分析方式
：波長分散型Ｘ線分析（WDX）
分析可能元素
：Ｂ～Ｕ
エネルギー分解能
：20 eV（EDXは約130 eV）
検出限界
：0.01 ％～
最大試料寸法
：100 ｘ 100ｍｍ
銅表面上の酸化物
2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる酸化状態の把握が可能です。
CuO とCu2O の標準O Kα 線スペクトル
測定物：純Cu板（長期大気暴露）
長期間保管されていた純銅の表面は酸化され、CuOのスペクトル形状と良く合致し、さらに波形分離を行うことで、CuOとCu2Oの存在比率は、９：１とわかった。
アルミ基材の酸化物
Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の把握が可能です。
Al と Al2O3 の標準Al Kβ 線スペクトル
測定物：純Al板（長期大気暴露）
Al板最表面の酸化層は薄いため識別が困難であるが、内部は酸化されていないことがわかった。