波長分散型X線分光器WDSはエネルギー分散型X線分光法EDSでは分離できないスペクトル上の近接元素を分離することができ、定量精度も向上します。
WDSとEDS検出方法の比較
波長分散型X線分光器
エネルギー分散型X線分光器
エネルギー分散型X線分光器（EDS）は、入射X線によって半導体中で発生する電子と正孔対の個数よりX線のエネルギーを計算します。
一方、波長分散型X線分光器（WDS）はX線の回折現象を利用し、特定波長X線のみを計数します。
一般に、WDSの方が波長分解能、検出感度共に優れています。
WDSの応用（スペクトル上の近接元素 Mo, S, Clの分離）
モリブデン配線上のイオウ、塩素を含む異物の (a)WDS定性分析と(b)EDS定性分析、(c)WDS面分析、 (d)EDS面分析の結果：
WDSではモリブデン－イオウ、モリブデン－塩素の分離が可能であることがわかる。