TEM（透過型電子顕微鏡）は高分解能での結晶粒観察、電子線回折による結晶構造の解析など、結晶材料解析に最適な手法です。
結晶材料の高分解能観察
(a) Si/SiO2/poly-Si海面部分の拡大鏡
(b)Poly-Siの結晶粒 アニール前
(c)Poly-Siの結晶粒 アニール後
電子線回折
電子線回折はX線回折と相補的に用いられ、X線回折では解析できない、微小領域の結晶の種類、格子定数、面方位、配向性を確認することができ、結晶材料の評価に不可欠の手法となっています。