YXLON製 マルチフォーカス Cheetah EVO導入!
電子部品、樹脂部品、ゴム部品、金属部品など、様々な用途に活用できます。
インダクタコイルの観察事例(直交CT観察+断面観察)
動作不良が発生したインダクタコイルの中をX線CTで観察しました。
螺旋状に形成された配線の所々に異常形状が発生している様子が確認されました。
X線CT観察では、3次元的に観察できるため、異常個所の状態がよく分かります。
a)配線に断線形状(赤矢印)が 見受けられる。
b)配線に溶融形状(赤矢印)と ボイド(黄矢印)が見受けられる。
異常個所を含む断面を機械研磨によって作製し、
SEMによる観察を実施しました。