「精密を守る、信頼を運ぶ。」 大切なウェハーを安全・確実に
ウェハーケースの種類
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説明
ウェハーカセット（FOSB）ケース
ウェハーカセット（FOSB：Front Opening Shipping Box）は、半導体製造工程でシリコンウェハーを安全に搬送・保管するための専用容器です。前面開口型で、自動搬送システム（FOUP）との互換性があります。静電気防止やクリーン性が重視され、特殊素材で作られています。ウェハーの微粒子汚染や物理的損傷を防ぐ構造になっています。主に300mmウェハーの輸送に使用され、国際規格に準拠しています。
ウェハーカセット（小口径用）ケース
小口径用ウェハーカセットケースは、主に6インチ（150mm）以下のシリコンウェハーを保管・搬送するための容器です。ウェハーの反りや割れを防ぐため、精密に設計された溝と支持構造を持ちます。材質は導電性プラスチックなどが使われ、静電気や微粒子からウェハーを保護します。多くは手動搬送や簡易自動搬送に対応しています。クリーンルーム対応で、半導体やMEMS製造工程で利用されています。
シングルウェハシッパー（枚葉トレイ）
シングルウェハシッパー（枚葉トレイ）は、単一のシリコンウェハーを安全に輸送・保管するための専用容器です。ウェハーの表面や端面を保護する構造で、物理的損傷や微粒子汚染を防ぎます。主に試作・検査用途や高価なウェハーの搬送に使用されます。クリーンルーム対応素材で作られ、静電気対策も施されています。サイズは2インチから300mmまで対応可能です。
ウェハー枚葉ケース（小口径用）
ウェハー枚葉ケース（小口径用）は、2～6インチ程度の小口径ウェハーを1枚ずつ安全に保管・輸送するためのケースです。ウェハーを固定・保護する構造で、反りや割れ、表面傷を防止します。導電性樹脂などを使用し、静電気やパーティクル対策にも対応しています。主に研究開発や少量生産、検査工程で使用されます。クリーンルーム環境に適した設計となっています。
プロトスケース
プロトスケースは、ダイシング後やバックグラインド後のウェハーを安全に搬送・保管するための容器です。薄く割れやすいウェハーを衝撃や静電気、異物混入から保護する設計がされています。ケース内部にはウェハー保持用のトレイやリングフレーム固定機構が備えられていることが多いです。クリーン環境に対応し、搬送中の品質維持に貢献します。主にFOUPとは異なる専用設計で後工程向けに使用されます。
フレームシッパーケース
フレームシッパーは、後工程で使用されるリングフレーム付きウェハー（BG・ダイシング後など）を安全に搬送・保管するための専用容器です。ウェハーの薄化により破損リスクが高まるため、静電気防止やクッション機構により保護性能が高められています。内部にリングフレームを固定する機構があり、搬送中のズレや振動を抑制します。クリーンルーム対応の材質が使用され、封止性や異物混入防止にも優れています。後工程の信頼性向上に不可欠な搬送資材です。
シングルフレームシッパー
シングルフレームシッパーは、後工程用のリングフレーム付きウェハーを1枚ずつ収納・搬送するための専用容器です。主にダイシング後やバックグラインド後の薄くて割れやすいウェハーを保護する目的で使用されます。静電気対策や衝撃吸収構造が施されており、高い安全性を確保します。密封性が高く、異物や湿気の侵入を防ぎ、クリーン環境での取り扱いにも適しています。工程間搬送や顧客への出荷用途にも用いられます。