斜めCTの最大のメリットは非破壊でCT観察できることです。
直行CTが得意とする断層像の観察には不向きですが、平面情報を取得することに適しており、積層基板では各層毎の情報を得ることが可能です。
積層基板の観察事例（斜めCT観察）
Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、そのままCT観察することが可能です。
斜めCT観察
観察試料例
Ｘ線観察例
斜めCT観察
平面研磨観察
X線による透過観察では、積層基板の各層やBGAと重なる部分を認識することが難しい場合がありますが、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能です。
また、測長ツールを用いることで長さを測定することもできます。測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7～14%の差が見られましたが、非破壊で内部構造を把握したいという場合には有効ではないか思われます。